研磨プロセスの見える化と最適化およびアシスト加工

研磨のプロセスでは何が起こっているのか?
~パッド、スラリー、コンディショナの作用機構の解明と研磨メカニズムの理解~

  受講可能な形式:【ライブ配信】のみ 

CMP等の研磨プロセスにおいて副資材であるパッド、スラリー、コンディショナに焦点をあてて解説
パッド、スラリー、コンディショナの役割、作用機構、相互関係、研磨レートとの関連、、、、
研磨はどう進行するのか、何に影響を受けるのか
研磨のメカニズムを知り、さらなる研磨の最適化、副資材の使い方、設計・開発に繋げる!

セミナー趣旨

研磨プロセスでは副資材としてパッド、スラリー、コンディショナが用いられます。それらを設計するには、当然のことながら、それらの作用機構を理解しておくことが望まれます。本セミナーでは,以下の3つの項目について事例(実験結果)を交えながら解説します。
パッドの役割:パッドのアスペリティが研磨(特に研磨速度)にどのような影響を及ぼすか、をお話しします。さらに、そのアスペリティを適切に評価できる手法についても解説します。
コンディショナの役割:パッドのアスペリティを適切に作る副資材がコンディショナです。コンディショナにも様々なタイプがありますが、4種類のコンディショナを例にしながら、それらの作用機構を解説します。
スラリーの役割:研磨プロセスではパッドとウェーハの接触界面へ適切にスラリーが運搬され(流れ込み)、それに含まれる微細粒子によって研磨が進行します。

そこでは、そのスラリーの運搬はどのように行われているのかについて解説します。それをマクロスケールで見た場合、ミクロスケールで見た場合を比較して、どのような現象が接触界面で行われているのかを解説します。
また、これらの知見に基づいて、見える化技術の応用事例として、AI導入研磨装置の開発や、定盤と研磨ヘッドの負荷電流のみの情報から、リアルタイムで研磨レートと摩擦係数を同時予測する手法についてもご紹介します。 さらに、より高い研磨速度を確保するために開発してきたアシスト加工、とりわけオゾンガスナノバブルスラリー手法についても紹介します。

受講対象・レベル

研磨プロセスに関わる(比較的若手の)技術者、研究者

セミナープログラム

○自己紹介
○研磨プロセスの概要
○パッド
 ・パッドアスペリティの測定・評価手法
 ・パッドアスペリティと研磨レートの関係
 ・注意事項

○コンディショナ
 ・コンディショナの概要と測定・評価手法
 ・砥粒配列の影響
 ・砥粒形状の影響
 ・コンディショナの作用機構

○スラリー
 ・研磨レートの定式化
 ・スラリー中における砥粒の流れ場解析
 ・解析結果と研磨レートの関係
 ・定式化に向けて
 ・動的接触観察によるスラリー流れ場
 ・砥粒接触位置の推定
 ・砥粒の移動速度と接触点の動き
 ・研磨レートとの対応関係

○見える化技術の応用事例
 ・研磨メカニズム理解の終着点
 ・学習プロセスを導入した知能研磨システムの構築
 ・リアルタイム予測に向けて

○アシスト加工
 ・オゾンガスナノバブルスラリー手法
 ・遊星アシスト手法
 ・超音波アシスト手法 

○おわりに

□質疑応答

セミナー講師

金沢工業大学 工学部 機械工学科 教授 博士(工学) 畝田 道雄 氏
専門
精密工学,精密加工,精密計測,システム工学
研究の内容・キーワード
超精密加工,AI応用,匠の技の科学
学協会における活動および役職
 (公社)精密工学会
   プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 幹事
   学術講演会オーガナイズドセッション「プラナリゼーションCMPとその応用」セッションオーガナイザー
 (公社)砥粒加工学会
   理事
   北陸信越地区部会長
   研磨の基礎科学とイノベーション化専門委員会 委員長
 (公社)日本工学教育協会
   工学教育研究講演会委員会 幹事
金沢工業大学に着任前は防衛庁技術研究本部 防衛庁技官として追尾レーダシステムに関する研究・開発にも従事

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

49,500円( E-mail案内登録価格46,970円 )
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で 49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須/1名あたり定価半額24,750円)

【1名分無料適用条件】
※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書(PDFデータ)は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
 (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

 テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
 1名申込みの場合:受講料( 定価:37,400円/E-mail案内登録価格 35,640円 )
※1名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※他の割引は併用できません。

受講、配布資料などについて

Zoom配信の受講方法・接続確認

  • 本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信となります。PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 申込み受理の連絡メールに、視聴用URLに関する連絡事項を記載しております。
  • 事前に「Zoom」のインストール(または、ブラウザから参加)可能か、接続可能か等をご確認ください。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー中、講師へのご質問が可能です。
  • 以下のテストミーティングより接続とマイク/スピーカーの出力・入力を事前にご確認いただいたうえで、お申込みください。
    テストミーティングはこちら
     

配布資料
PDFテキスト(印刷可・編集不可)

その他注意事項
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。


※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

開催日時


13:30

受講料

49,500円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込 または、当日現金でのお支払い

開催場所

全国

主催者

キーワード

機械加工・生産   生産工学

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機械加工・生産   生産工学

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