【中止】遷移金属ダイカルコゲナイド(TMDC)の物性・合成・薄膜形成とデバイス応用

セミナー趣旨

受講対象・レベル

TMDCの研究開発にこれから関わろうとする方、TMDCの物性、合成、デバイス応用に興味のある方。
物性科学、半導体デバイスに関する基礎知識を有する方が望ましい。

習得できる知識

TMDSの物性、合成、薄膜形成に関する基礎知識
TMDCのデバイス応用、デバイス化要素プロセスに関する基礎知識、最新研究動向

セミナープログラム

１．序論
　1.1 TMDCへの期待

２．TMDCの物性
　2.1 分類
　2.2 結晶構造
　2.3 バンド構造
　2.4 機械的特性
　2.5 光学特性
　2.6 電気特性

３．TMDCの合成、薄膜形成
　3.1 バルク単結晶成長
　3.2 機械的剥離法による薄膜形成
　3.3 固体原料による化学気相成長
　3.4 アルカリ金属添加による大粒径化
　3.5 気体原料による化学気相成長
　3.6 その他形成手法(原子層堆積法、スパッタ法、金属酸化物硫化法等)
　3.7 TMDCヘテロ構造の形成

４．デバイス応用
　4.1 電界効果型トランジスタ
　4.2 トンネルトランジスタ
　4.3 光デバイス
　4.4 その他デバイス(センサ、メモリ、ニューロモルフィック)

５．デバイス化要素プロセス技術
　5.1 低抵抗コンタクト形成技術
　5.2 界面パッシベーション技術
　5.3 ドーピング技術

６．おわりに

　□質疑応答□

セミナー講師

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