CVDプロセスの反応解析、メカニズムとプロセス最適化

セミナー趣旨

化学気相堆積（CVD）法は、様々な薄膜を形成する際に広く用いられている方法である。これは、流れ、熱、反応物質の輸送だけでなく、気相・表面の化学反応が複雑に絡む現象であるため、難しく見えて来る。そこでCVD装置で起きている化学反応を解析するために、反応工学の基礎と熱流体解析法をはじめに紹介します。原子層堆積（ALD）法についても考え方は同様なので、ALD装置の流れ解析についても紹介します。次に、化学反応の様子を実験的に観察・測定する方法、気相化学種や得られた膜の様子から反応の推定する方法、プラズマCVDの反応を観察し整理した例、副生成物から見えること、などを紹介します。最後に、CVDプロセスを最適化するために考えるべきことについて議論する予定です。

習得できる知識

１．CVD法とは何か
２．CVD法の基本現象
３．熱流体と反応場の捉え方
４．気相化学種から反応を推定する方法
５．膜質から反応を推定する方法
６．製膜結果の関数化表現
７．副生成物の挙動と影響
８．最適化の考え方

セミナープログラム

１．CVD序論
　1.1 原理
　1.2 分類：励起手段（熱、光・レーザー、プラズマなど）、圧力（減圧、常圧）、前駆体

２．反応工学の基礎
　2.1 反応速度式の考え方
　2.2 押出流れと完全混合流れ
　2.3 設計方程式の考え方

３．反応の場（流れと熱）
　3.1 CVD装置内流れの可視化観察例
　3.2 装置の形と機能(基板回転の役割、ノズルの効果、など)
　3.3 ALD装置内のガス流れ（解析例）

４．表面反応・気相反応
　4.1 気相反応・表面反応
　4.2 ドーピングの反応

５．その場観察
　5.1 四重極質量分析（QMS）による反応解析
　5.2 圧電性結晶振動子（LCM・QCM）による反応解析例
　5.3 赤外分光法

６．膜質を基にした反応機構解析
　6.1 XPSによる表面分析と反応解析への応用
　6.2 SIMSによる組成分析と反応解析への応用
　6.3 TEMによる表面観察と反応解析への応用

７．データ整理
　7.1 データ整理方法（多変量解析）
　7.2 リアクタのパラメータと基板温度
　7.3 プラズマ反応（平行平板）における観察例＆解析例

８．副生成物
　8.1 サセプタ表面堆積物の影響
　8.2 反応容器壁の堆積物
　8.3 排ガス管内堆積物の分析と扱い
　8.4 副生成物を減らす方法

９．最適化の考え方

１０．まとめ

【質疑応答】

セミナー講師

反応装置工学ラボラトリ　代表／横浜国立大学　名誉教授　博士(工学)　羽深 等 氏

【略歴】
新潟大学理学部化学科　理学士（1979年3月）
京都大学大学院理学研究科化学専攻　理学修士（1981年3月）
広島大学大学院工学研究科　博士（工学）（1996年9月）
信越化学工業株式会社　1981年4月～2000年3月
横浜国立大学工学部物質工学科　助教授　2000年4月～2002年3月
横浜国立大学大学院工学研究院　教授　2002年4月～2022年3月
横浜国立大学名誉教授　2022年4月～
反応装置工学ラボ　代表　2022年4月～

セミナー受講料

1名につき55，000円（消費税込・資料付き）
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49，500円（税込）〕

受講について

• 本講座はZoomを利用したLive配信セミナーです。セミナー会場での受講はできません。
• 下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
  　→ https://zoom.us/test
• 開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
  セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
• Zoomクライアントは最新版にアップデートして使用してください。
  Webブラウザから視聴する場合は、Google Chrome、Firefox、Microsoft Edgeをご利用ください。
• パソコンの他にタブレット、スマートフォンでも視聴できます。
• セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。
  お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。
• 当日は講師への質問をすることができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。
• 本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、
  録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
• 本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
  複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
• Zoomのグループにパスワードを設定しています。
  部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
  万が一部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。