真空・プラズマの基礎、スパッタリング現象・プロセス、薄膜の評価法、
応用事例、不具合の事例と原因・対策、シミュレーションなど。

スパッタリングにおけるトラブルが発生した際、下記の状況になっていませんか?
・とりあえず思いついた分析と装置パラメータ振りに陥る。
・トラブルが解決したが、原因と解決した理由が不明のまま。

本セミナーは、トラブルへの的確な対応や薄膜の品質向上、薄膜プロセスの設計・選択・制御に向けて、真空・プラズマの基礎、スパッタリングの現象・プロセス、薄膜の評価方法(膜厚・形状、結晶構造、組成・状態、力学的・機械的性質等)、異常放電・密着力不足・残留応力等の不具合の原因と対応策、シミュレーション手法、応用事例、技術動向や最新の話題などについて理解を深める内容です。

セミナー趣旨

 スパッタリング法は半導体からディスプレイデバイス、電子デバイスまで広く工業的に普及している技術である。薄膜形成方法の中でも、ソース材料(ターゲット)が固体であり、有毒ガスを使用しないため、除害装置などを必要とせず、比較的簡便に取り扱うことができる。しかしながら、スパッタリングは、真空、プラズマ、電磁場、原子分子の衝突・拡散、化学反応など、いずれも目に見えない現象により成り立っているため、設備およびプロセスの設計や制御の根拠となるものを掴みにくく、経験や実験的アプローチに頼らざるを得ないという側面も持っている。
 本講演では、スパッタリング技術の基礎となる真空とプラズマについて詳細に解説する。実際の工程で生じることが多い不具合の事例として、異常放電、密着力不足、残留応力等を取り上げ、その原因と対策について述べる。今後ますます重要になるであろうシミュレーション手法や、最近の技術動向などについても紹介する。

受講対象・レベル

スパッタリング技術の初心者・初級者も対象と考える。

必要な予備知識

予備知識は必要としない。

セミナープログラム

1.はじめに 趣旨説明
 
2.スパッタリングの基礎(1)真空
 2.1 真空とは
 2.2 クリーン化技術
 
3.スパッタリングの基礎(2)プラズマ
 3.1 プラズマとは
 3.2 低圧非平衡プラズマ
 3.3 大気圧非平衡プラズマ
 3.4 大気圧熱平衡プラズマ
 
4.スパッタリングの種類と特徴
 4.1 直流マグネトロンスパッタリング
 4.2 高周波マグネトロンスパッタリング
 4.3 反応性スパッタリング
 4.4 対向ターゲット式スパッタリング
 4.5 ロータリーターゲット式スパッタリング
 4.6 パルススパッタリング(HiPIMS)
 
5.スパッタリングの素過程
 5.1 スパッタリング
 5.2 輸送過程
 5.3 付着・拡散過程
 
6.薄膜の評価
 6.1 結晶性評価
 6.2 膜厚評価
 6.3 光学的特性評価
 6.4 応力評価
 6.5 付着力評価
 
7.スパッタリングに関するシミュレーション
 7.1 磁場
 7.2 プラズマ
 7.3 輸送過程
 
8.応用事例
 8.1 光学薄膜
 8.2 圧電薄膜
 8.3 その他応用事例
 
9.スパッタリング工程における不具合の原因と対策例
 9.1 膜厚均一性の向上
 9.2 薄膜の剥離対策
 9.3 プラズマ放電の安定化
 9.4 その他の不具合の原因と対策
 
10.最新の技術動向
 
11.まとめ

 □質疑応答□

セミナー講師

パナソニック インダストリー株式会社 部長 博士(工学)​ 大熊 崇文 氏 専門:薄膜形成、プラズマプロセス
 
【略歴】
1997年04月 松下電器産業(当時)入社
       生産技術本部に配属され,以降スパッタリング装置を中心とした生産設備およびプロセス開発に従事
2021年10月より現職
2019年03月 博士(工学) (九州大学)
2021年04月 九州大学客員教授(兼務)
講師詳細→ https://researchmap.jp/takafumi_okuma/

セミナー受講料

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2名で 49,500円 (2名ともE-Mail案内登録必須​/1名あたり定価半額24,750円) 

【1名分無料適用条件】
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※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書(PDFデータ)は、代表者にE-mailで送信いたします。
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1名申込みの場合:35,750円 ( E-Mail案内登録価格 33,990円 )
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受講について

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  • セミナー中、講師へのご質問が可能です。
  • 以下のテストミーティングより接続とマイク/スピーカーの出力・入力を事前にご確認いただいたうえで、お申込みください。
    ≫ テストミーティングはこちら

配布資料

  • PDFテキスト(印刷可・編集不可)

※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

開催日時


13:00

受講料

49,500円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込 または、当日現金でのお支払い

開催場所

全国

主催者

キーワード

薄膜、表面、界面技術   プラズマ技術   CAE/シミュレーション

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薄膜、表面、界面技術   プラズマ技術   CAE/シミュレーション

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