液膜の塗布・乾燥プロセスの物理現象と膜厚ムラの形成メカニズム、回避・抑制指針

セミナー趣旨

受講対象・レベル

・メカニズムの理解に基づいて、応用範囲の広い対策方法を検討したい方
・予備知識： 特に必要ないように構成します。

習得できる知識

・液膜流れに関わる物理現象の特徴
・液膜の塗布・乾燥プロセスで生じる各種膜厚ムラ
・実験・シミュレーション方法

セミナープログラム

１．塗布乾燥工程の概要
　1.1 関連する産業分野と塗布方式
　1.2 関与する物理現象、種々の膜厚ムラ
 
２．液膜内の熱流動に関する物理
　2.1 液膜流れ
　　2.1.1 表面張力と重力の影響
　　2.1.2 遠心力の影響
　　2.1.3 マランゴニ効果
　　2.1.4 液膜に生じた膜厚不均一の緩和挙動
　2.2 熱物質輸送
　　2.2.1 加熱乾燥と熱伝導
　　2.2.2 樹脂と溶媒の相互拡散
　　2.2.3 溶媒の蒸発特性
 
３．各種膜厚ムラの形成過程と回避・抑制指針
　3.1 基板端部の隆起
　　3.1.1 発生するムラの特徴：実験的な観察結果から
　　3.1.2 何が起きているのか：背景物理の理解と数値シミュレーション
　　3.1.3 対策方針
　3.2 放射状スジムラ
　　3.2.1 発生するムラの特徴：実験的な観察結果から
　　3.2.2 何が起きているのか：背景物理の理解と数値シミュレーション
　　3.2.3 対策方針
 
４．膜厚ムラの分析方法
　4.1 膜厚ムラの観察方法
　　4.1.1 干渉光学系による膜厚の測定
　4.2 数値シミュレーション方法
　　4.2.1 塗布・乾燥プロセスに関与する物性値の種類
　　4.2.2 液膜流れの性質を生かした、効率的な計算方法
　　4.2.3 機械学習を用いた液膜流れの計算方法

　□質疑応答□
 

セミナー講師

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

44,000円( E-mail案内登録価格41,800円 )
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で 44,000円 (2名ともE-mail案内登録必須／１名あたり定価半額22,000円)

【1名分無料適用条件】
※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
　(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
１名申込みの場合：35,200円 ( E-Mail案内登録価格 33,440円 )
※WEBセミナーには「アーカイブとオンデマンド」が含まれます。
※1名様でお申込み場合、キャンペーン価格が自動適用になります。
※他の割引は併用できません。

受講について

Zoom配信の受講方法・接続確認

• 本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信となります。PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
• 申込み受理の連絡メールに、視聴用URLに関する連絡事項を記載しております。
• 事前に「Zoom」のインストール(または、ブラウザから参加)可能か、接続可能か等をご確認ください。
• セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
• セミナー中、講師へのご質問が可能です。
• 以下のテストミーティングより接続とマイク/スピーカーの出力・入力を事前にご確認いただいたうえで、お申込みください。
  ≫ テストミーティングはこちら

配布資料

• PDFテキスト(印刷可)