圧電薄膜の成膜、評価技術とMEMS応用

~各種薄膜材料と成膜技術、評価技術、最新動向~

近年、MEMSデバイスの進化は進み、様々な電子製品において必要不可欠なものです。
その中でも圧電材料は活用がされており、更なる高性能化を求め、研究開発が進められております。

本セミナーでは、各種圧電薄膜材料や成膜技術といった基礎知識から薄膜の評価手法、最新研究動向を解説!

セミナー趣旨

 PZT薄膜を中心とした圧電薄膜のMEMSデバイス応用の研究開発が活発化している。
圧電MEMSの特徴的な基本技術は、圧電薄膜材料、薄膜化、および圧電評価技術である。本講演では、これらの技術について解説するとともに、将来のデバイス開発を目的とした研究例を紹介する。

受講対象・レベル

圧電薄膜の研究開発にこれから従事する技術者を対象
予備知識は特に不要です

習得できる知識

・圧電薄膜の材料評価、成膜および測定技術

セミナープログラム

1.圧電MEMSの特徴および応用例
 1.1 MEMS技術の中における圧電MEMS
 1.2 圧電MEMSデバイスの応用例

2.圧電薄膜材料とその成膜技術
 2.1 圧電材料
 2.2 PZT材料
 2.3 非鉛圧電材料
 2.4 薄膜化技術
 2.5 スパッタ法
 2.6 ゾルゲル法

3.圧電薄膜の評価技術
 3.1 結晶構造評価
 3.2 誘電特性・強誘電特性
 3.3 信頼性評価
 3.4 圧電定数の定義
 3.5 圧電特性測定技術
 3.6 ユニモルフ構造の力学
 3.7 逆圧電定数および正圧電定数の測定

4.最近の研究動向

5.まとめ

  □ 質疑応答 □

セミナー講師

神戸大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 センシングデバイス工学分野 教授 神野 伊策 氏
 
【専門】薄膜、圧電、MEMS
【研究室HP】

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

44,000円( E-mail案内登録価格41,800円 )
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2名で 44,000円 (2名ともE-mail案内登録必須/1名あたり定価半額22,000円)

【1名分無料適用条件】
※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書(PDFデータ)は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
 (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:35,200円 ( E-Mail案内登録価格 33,440円 )
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※他の割引は併用できません。

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  • セミナー中、講師へのご質問が可能です。
  • 以下のテストミーティングより接続とマイク/スピーカーの出力・入力を事前にご確認いただいたうえで、お申込みください。
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配布資料

  • 製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
    ※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
    ※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。

※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

開催日時


13:00

受講料

44,000円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込 または、当日現金でのお支払い

開催場所

全国

主催者

キーワード

電子デバイス・部品   薄膜、表面、界面技術   ナノマイクロシステム

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電子デバイス・部品   薄膜、表面、界面技術   ナノマイクロシステム

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