薄膜の剥離メカニズムと密着性改善

スパッタ・蒸着膜の剥離トラブルに対処する際に
知っておくべきこと


薄膜の密着性にまつわる技術課題を解決されたい方、密着についての品質管理に関わる方は聞いておきたい！
薄膜の密着性の問題に対処する際に知っておくべき基本的な内容を基礎から易しく解説します

セミナー趣旨

　本セミナーでは、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、できるだけ平易に解説します。
　特に、界面や表面、膜応力や剥離・破壊の基本知識と、密着性改善の考え方、密着力の評価方法について詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、樹脂コーティング膜等についても実例を挙げながら解説します。さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、密着力測定の結果をいかに材料設計に活かすか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。
　初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方、さらには品質管理等で密着性の評価技術の本質を理解したい方に適した内容です。本講座を通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。

受講対象・レベル

初学者、中堅技術者向けの内容となっております
・薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方
・新製品開発やトラブルシューティングで薄膜の密着性に関する技術課題を解決したい方
・品質管理等で薄膜の密着性の評価技術の本質を理解したい方

習得できる知識

・密着力の測定の仕方
・密着力測定から得られる情報と材料設計への活かし方
・薄膜／基材の界面構造
・薄膜応力の基本
・薄膜の剥離現象と密着性改善の考え方

セミナープログラム

１．なぜ剥離が発生するのか：知っておきたい基礎知識
　1.1 薄膜の剥離問題で苦労する理由：膜剥離を理解・対策するための３つのポイント
　1.2 剥離に影響を与える材料的要因と剥離発生要因の簡単な見分け方：観察による剥離要因の推定
　1.3 異種材料間の界面構造を知ろう
　1.4 表面／界面エネルギーと密着力の意味するもの
　1.5 密着と粘着・接着との違い
　1.6 なぜ膜応力が剥離へ大きな影響を与えるのか？
　1.7 剥離・破壊を理解し、剥離を起こさない考え方の基本

２．密着性をどのように評価するか
　2.1 密着力測定の注意点：測定条件の影響と測定値の持つ意味
　2.2 様々な密着力評価方法の特長と注意点：テープテスト・３点曲げテスト
　2.3 スクラッチテストによる密着性評価方法の詳解：有用性を支える３つのポイントと密着性改善につながる材料設計への活かし方

３．密着性を改善するには
　3.1 密着性改善につながる効果的な考え方
　3.2 異種材料界面と表面／界面の改質手法

４．剥離／密着不良が起こった場合にどのように対処するのか
　4.1 対処手順と解析の方法
　4.2 ケーススタディ１：様々な剥離形態により発生要因を読み取る具体例
　4.3 ケーススタディ２：剥離原因を絞込み、密着性改善対策をおこなう手順の具体例

５．まとめ
６．質疑応答

セミナー講師

ペルノックス(株) ( 荒川化学工業(株) )　開発統括部 開発センター長 工学博士　岩村 栄治 氏
略歴
1990年 東京大学工学研究科修士課程修了(金属工学専攻)
2000年 工学博士(東京大学)
1990年～2001年 (株)神戸製鋼所 技術開発本部 研究員
1994年～1996年 スタンフォード大学材料科学工学科　客員研究員
2002年～2005年 科学技術振興機構 さきがけ研究２１ 個人研究者
2005年～ 荒川化学工業(株)
2013年～ ペルノックス(株)（出向）
受賞
日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞

セミナー受講料

49,500円( S&T会員受講料47,020円 )
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2名で 49,500円 (2名ともS&T会員登録必須／１名あたり定価半額24,750円)

【1名分無料適用条件】
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※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。
※受講券、請求書は、代表者に郵送いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
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※他の割引は併用できません。


※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

開催日時


10:30 ～

受講料

49,500円（税込）/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込 または、当日現金でのお支払い

開催場所

東京都

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【品川区】きゅりあん

【JR・東急・りんかい線】大井町駅

主催者

キーワード

薄膜、表面、界面技術   化学反応・プロセス
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