圧電材料を用いたMEMSデバイス開発への基礎知識とポイント

圧電材料を用いたMEMS材料の開発・デバイスへの応用の
ポイントを解説!

近年、MEMSデバイスの進化は進み、様々な電子製品において必要不可欠なものとなっており、その中でも圧電材料は製品の小型化・高機能化への貢献が得られ、更なる性能向上が求められています。

セミナー趣旨

 富士フイルムにて圧電材料そのものの開発、製造装置の設計さらにはMEMS事業をゼロから立ち上げてきた筆者が、経験を元に学術的な視点だけではなく実際に使える現場視点/産業界の視点から、MEMS材料の開発とデバイスへの応用を、R&Dの進め方、事業化のための考え方を伝授いたします。MEMS研究者だけではなく、研究をいかに進めるべきかの参考になります。

受講対象・レベル

IoT関連でセンサやアクチュエータの用途が高まっており、自社で新規なセンサやアクチュエータを開発したいと思っている人に役立つ。
最後に各社の開発の方向性について調査方法を含めて開示します。

セミナープログラム

  1. 自己紹介
  2. はじめに
    1. MEMSとは?
    2. 静電MEMS
    3. 圧電MEMS
    4. 静電MEMS VS 圧電MEMS
    5. MEMSのコストイメージ
  3. 圧電材料と成膜方法
    1. ゾルゲル法、MOCVD法、スパッタ法、アロゾルデポジション法
    2. 圧電材料の種類と特徴
    3. 各社の圧電膜について
      Pb系材料、KNN系材料、AlN系材料など
    4. 圧電膜の特性と適した応用先
  4. スパッタ法による高性能圧電体Nb-PZT材料の開発
    1. 材料開発のコンセプト
    2. スパッタ法における材料開発のテクニック
    3. Nb-PZT膜の特徴
    4. 分極レスの特徴によるメリット
  5. 圧電膜のMEMS応用
    1. 圧電MEMSのプロセスフロー
    2. インクジェットヘッドへの応用
    3. マイクロミラーへの応用
    4. その他の応用
    5. 国内外各社のMEMSデバイスに関する開発のトピックス
      国内MEMS関連企業、海外MEMS関連企業
    6. 情報調査の方法について
  6. まとめ

□ 質疑応答 □

セミナー講師

藤井技術士事務所 / 株式会社TAK薄膜デバイス研究所  代表 藤井 隆満 氏
技術士(応用理学部門)

セミナー受講料

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44,000円( E-mail案内登録価格41,800円 )
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2名で 44,000円 (2名ともE-mail案内登録必須/1名あたり定価半額22,000円)

【1名分無料適用条件】
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※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書(PDFデータ)は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
 (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

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1名申込みの場合:35,200円 ( E-Mail案内登録価格 33,440円 )
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配布資料

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講師のプロフィール

基礎研究から商品化まで一直線の開発。 目指す市場と技術のマッチング、知財戦略、バリューチェーンをどうするかということを論理的に考え、開発を加速させましょう。

藤井 隆満

専門家専門家B ふじい たかみち / 神奈川県 / 独立技術士

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※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

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全国

主催者

キーワード

無機材料   電子デバイス・部品   ナノマイクロシステム

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