＜非ニュートン粘性・微粒子挙動も考慮した＞塗布液の流動シミュレーション技術と最適な塗布プロセス構築への活用、塗布膜乾燥シミュレーション事例

セミナー趣旨

　これまでにＶＯＦ法を用いた自由表面塗布ビード流動解析を、各種学会・セミナー・書籍等で紹介してきたが、従来はごく単純なニュートニアン粘性塗液に簡略化した事例に留めることが多かった。しかし、近年の解析需要として、より現実に近い非ニュートン粘性の考慮は特に重要で、剪断依存粘度（粘度カーブ）の測定や解析モデルへの反映、複雑な粘性挙動に起因する塗布故障の予測や最適設計、液に含まれる微粒子挙動についても述べる。また、塗布後の乾燥（溶媒蒸発）解析のコンセプトモデルについても述べる。

受講対象・レベル

• 半導体製造、装置メーカ、半導体関連材料の技術者

習得できる知識

• ＶＯＦ法を用いた塗布ビード自由表面解析の基礎
• 電子材料業界でも良く用いられるスロット塗布の流動解析
• 現実に近い非ニュートン粘性への拡張事例
• 液に含まれる微粒子の挙動拡張事例
• 多層同時塗布、粒子や繊維を含む塗液への拡張事例
• 塗布膜乾燥解析の開発状況や現状の課題
• 解析作業実演による解析手順概要の理解

セミナープログラム

1. 塗布(コーティング)について
   1. 塗布操作とは
   2. 塗布方法の分類
   3. 塗布故障の種類
   4. 塗布解析の概要、専門用語の解説
2. 塗液流動解析の目的
   1. ダイ内部流動解析、塗液自由表面解析
   2. 実現象と解析の比較、塗布故障対策への実用
   3. 解析技術の現状・今後の展望
3. 数値計算手法に関して
   1. 自由表面計算の取り扱い
      • ＡＬＥ法
      • ＶＯＦ法
      • ＶＯＦ法の各種スキーム
   2. 各種流体解析ソフトの適用
      • 有償市販ソフト
      • 無償オープンソースソフト
   3. 解析仕様の選定
      • 解析モデルのディメンジョン
      • 負荷分散計算
      • スーパーコンピュータの活用
4. 基本的なスロット塗布の各種塗布故障再現・対策事例の紹介、解説
   1. 空気同伴現象
      • 解析結果としての空気同伴発生
      • 空気同伴の発生臨界
      • 塗布膜中での気泡挙動
   2. 巾方向に乱れる塗布故障
      • リビング
      • リビュレット
      • コーティングウィンドウにおける発生臨界
   3. 巾方向端(エッジ)部の不均一
      • エッジ近傍の厚塗りや薄塗り
   4. 塗布開始時の厚塗りや薄塗り
      • 毎葉塗布
      • 塗布開始時のアクション再現
      • ストライプ＆間欠の応用事例
   5. 大規模な３次元全体解析
      • ２．５次元→全巾３次元モデルへの拡張
      • 各種塗布故障の再現
   6. 負荷分散、スーパーコンピュータによる計算時間短縮
      • スパコン４種の性能比較
      • スパコンの計算コスト
5. 各種の拡張事例紹介
   1. 非ニュートン粘性塗液・微粒子挙動への拡張
      • 剪断速度依存粘度の測定、解析における非ニュートン粘性モデル
      • 非ニュートン塗液に特有の複雑な挙動
      • 微粒子を含む塗液に特有の複雑な挙動
   2. 多層同時塗布解析
      • スライドビード多層同時塗布
      • 多層同時に特有の層構成
   3. 粒子や繊維を含む塗液への拡張
      • ＶＯＦ法＋ＤＥＭ法
      • 粒子を含むスロット塗布
      • 粒子→繊維への拡張事例
6. ＤＥＭ法を応用した塗布膜の乾燥解析事例（開発中）
   1. 塗布膜の乾燥とは
   2. ＤＥＭ法を応用した乾燥解析モデル
   3. 乾燥における固体微粒子挙動の紹介
7. 塗布解析作業手順の実演、塗布解析に独特のポイント
   1. プリ作業
   2. ソルバー計算実行
   3. ポスト処理

□質疑応答□

キーワード：
・ＶＯＦ法による自由表面流動解析
・スロット塗布
・スライドビード多層同時塗布
・非ニュートン粘性モデル
・ＤＥＭ法による粒子連成解析
・ＤＥＭ法を応用した塗布膜乾燥解析

セミナー講師

​安原 賢　氏
（主務）ＭＰＭ数値解析センター(株)　取締役センター長
（兼務）三菱製紙(株) 技術環境部 担当部長

セミナー受講料

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※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
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１名申込みの場合：35,200円 ( E-Mail案内登録価格 33,440円 )
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※他の割引は併用できません。

受講について

Zoom配信の受講方法・接続確認

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• セミナー中、講師へのご質問が可能です。
• 以下のテストミーティングより接続とマイク/スピーカーの出力・入力を事前にご確認いただいたうえで、お申込みください。
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