XPSの基礎と応用～スペクトル解析・材料評価から装置管理運営まで～

セミナー趣旨

　X線光電子分光法（X-ray Photoelectrons Spectroscopy: 　XPS）は、材料表面分析手法の一つである。材料表面数nmの定性、定量分析だけでなく、化学結合状状態分析が可能で、材料表面の特性を評価するのに有用な手法である。また、検出器と試料の検出角度を変化させる検出角度分解法による非破壊の深さ方向分析や、Ar（アルゴン）スパッタリングを併用しながら、材料の深さ方向の分析も可能である。
　本セミナーでは、まず、XPSの原理およびスペクトルから得られる基本的な情報を紹介する。次に、正確な解析を行うための測定条件の最適化、チャージアップ対策、近年注目されているクラスターイオンビームを用いた深さ方向分析、材料により異なる試料調整を紹介し、スペクトルの解析法についても触れる。
　続いて、実際的な測定応用例として、二次電池材料やバイオポリマーなど、機能性材料について実際に評価した事例、また、XPSを最大限にまで活用したチャレンジング解析事例について解説する。最後に、装置のメンテナンスについても触れ、XPS装置の初歩から応用までの全体的な内容を解説する。

受講対象・レベル

X線光電子分光法（XPS） に携わって、まだ年数が浅い方から、すでに何年も携わっていられる方で、さらに、ご自分の技術を改善したい方まで、幅広い方々

必要な予備知識

特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします

習得できる知識

・XPSの原理
・XPSによる定性、定量、化学状態分析
・材料別によるXPSの測定法、試料の調整法
・チャージアップ対策
・XPSの装置管理体制のヒント

セミナープログラム

１．X線光電子分光法（XPS） 
　1-1．表面分析とは
　1-2．XPSの原理
　1-3．定性、定量、化学状態分析

２．XPSの測定手法、条件の最適化
　2-1．深さ方向分析
　2-2．帯電補正
　2-3．材料により異なる試料調整法
　2-4．測定条件の最適化

3. スペクトルの解析法
　3-1．スペクトルの構成およびスペクトル処理
　3-2．ピーク分離の理論と実践

4．実際の測定例
　4-1．機能性材料表面への応用
　4-2．チャレンジングな解析事例

5.  XPS装置の管理・運営
　5-1．装置のメンテナンス
　5-2．メンテナンス体制

キーワード：
XPS,スペクトル解析,X線光電子分光法,表面分析,講演,セミナー,研修,講座

セミナー講師

早稲田大学　教育・総合科学学術院／東京理科大学先進工学部
非常勤講師　博士（工学）
中尾　愛子　氏

【略歴】
1984年3月 早稲田大学大学院理工学研究科博士前期課程　修了
1984年 4月 　住友スリーエム（株）入社
1990年6月　　 住友スリーエム（株）退職
1990年 7月　　理化学研究所　入所　
2000年 5月　　工学博士取得(東京大学)
2019年3月　　理化学研究所　定年退職
2019年4月-2023年3月　早稲田大学　ナノ・ライフ創新研究機構　
　　　　　　　　　 研究院客員教授
2023年4月　　早稲田大学　教育・総合科学院　非常勤講師
2024年4月　　東京理科大学　先進工学部　非常勤講師

【著書】
・全個体電池の界面抵抗低減と作成プロセス、評価技術　2020年3月　技術情報協会
　　 “X線光電子分光法を用いた全個体電池の固／固界面・表面解析
・リチウムイオン電池の分析、解析と評価技術　事例集　2019年11月　技術情報協会
　　 “X線光電子分光法を用いた全個体電池の固／固界面・表面解析
・先端バイオマテリアルハンドブック2012年6月　NTS　Inc.
　 “X線光電子分光法（X-ray Photoelectron Spectroscopy）”
・ナノバイオエンジニアリングマテリアル 2004年3月　フロンテイア出版刊
“イオンビーム照射によるポリマー表面のバイオ機能化”

セミナー受講料

55,000円（税込、資料付）
■ 会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円（税込）から
　★1名で申込の場合、49,500円（税込）へ割引になります。
　★2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円（2人目無料）です。

※LIVE配信とアーカイブ配信（見逃し配信）両方の視聴を希望される場合
　お一人様につき、追加料金11,000円（税込）にてお申込みいただけます。
　メッセージ欄に「LIVEとアーカイブ両方視聴」と明記してください。

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主催者

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