走査電子顕微鏡（SEM・EDS）の基礎と異物解析のポイント

★SEM、EDSの基礎と異物解析に向けた実践、ポイントを解説

 

 
 

 

 

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    セミナー趣旨

    本講座では、走査電子顕微鏡（SEM）とエネルギー分散型X線分光法（EDS）の基本原理を理解し、異物解析における実践的なポイントを学びます。装置の特徴や分析手順を体系的に整理し、異物の原因究明や品質改善に役立つ知識を身につけることを目的としています。

    習得できる知識

    　SEMは試料表面の形態や組成差を高分解能で観察でき、EDSは特性X線を用いて元素の定性・定量分析や分布マッピングが可能です。観察条件（加速電圧・照射電流・作動距離）や試料前処理（導電コート）が結果に大きく影響します。異物解析ではSEM像で構造・組成差を確認し、EDSで元素比較とマッピングを行うことで発生源推定や品質改善に活用できます。

    セミナープログラム

    １．SEMの基礎 
    　1.1 SEMの原理と構造
    　1.2 二次電子像・反射電子像で得られる情報（形態・組成差）


    ２．SEMの使い方
    　2.1 加速電圧・照射電流・作動距離の設定と効果
    　2.2 試料前処理（導電コート、帯電防止）


    ３． EDS分析の基礎
    　3.1 EDSの原理と特徴（定性・定量・元素マッピング）
    　3.2 分析時の注意点（加速電圧、ピークオーバーラップ、測定条件）


    ４． 異物解析の実践
    　4.1 解析フロー（SEM観察→EDS分析→元素マップ）
    　4.2 異物と正常部の比較事例、発生源推定のポイント


    ５．まとめ
    　5.1 よりよいデータ取得のための条件設定と注意事項及び質疑応答

    【質疑応答】

     

     
     

     

     

    セミナー講師

    　日本電子(株)　SOL開発C　西日本ソリューションセンター　主査　藤田 憲市　氏



    セミナー受講料

    1名につき49，500円（消費税込・資料付き）
    〔1社2名以上同時申込の場合1名につき44，000円（税込）〕

    主催者

    開催場所

    全国

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