初学者のための化学気相堆積（CVD）法解説～ＣＶＤ装置に生じる現象やＣＶＤ法のトラブル対応～

セミナー趣旨

  化学気相堆積法（ＣＶＤ）を初めて取り扱う初学者に、その目的、構成と操作を含む全体像を説明します。ＣＶＤ法は、電子デバイスをはじめ様々な製品を作る際に広く使われていますが、化学反応を使うので複雑な印象を抱いてしまいます。そこで、熱励起によるＣＶＤ法を中心に、装置の構成と操作、膜の評価を一つずつ確認して行きながら、具体的意味と全体像を解説します。成膜条件を最適化する際に苦労する項目にも触れます。

受講対象・レベル

・ＣＶＤ法を初めて取り扱う方
・ＣＶＤ法で行っている操作の意味が分からない方
・ＣＶＤ装置に生じる現象を知りたい方
・未経験者にＣＶＤ法を説明する立場の方

必要な予備知識

必要な予備知識はありません。

習得できる知識

・ＣＶＤ法の原理と基礎知識
・成膜装置の特徴
・成膜条件の選択方法
・ＣＶＤ法のトラブル対応法

セミナープログラム

１． 薄膜が何故必要か
  1.1 デバイス構造と薄膜形成理由
  1.2 微細化と成膜方法の使い分け
２． 化学気相堆積（ＣＶＤ）法とは
  2.1　気相堆積法の種類(PVDとCVD)
  2.2　熱CVDとプラズマCVDの比較
３． ＣＶＤ装置の構成と機能
  3.1　成膜装置の種類
  3.2　成膜装置のシステム構成
４． 原料ガス
５． 基板
  5.1　基板と膜の物性の関係
  5.2　基板表面の汚れ除去法
６． 成膜とクリーニングの工程と意味
７． 成膜とドーピングで起こる現象
  7.1　気相と表面の化学反応と膜質の関係
  7.2　化学反応解析と成膜機構解析の事例
  7.3　副生成物の扱い方
８． 装置の形とガス流れ
  8.1　ガス流れの可視化観察事例
  8.2　ガス流れと膜質の関係
９． 成膜条件（圧力、流量、など）と律速過程
１０． 基板を回す理由（成膜速度の平均化と加速の効果）
１１． 成膜事例（Si, SiC, GaN, Ga2O3,など）
１２． 化学反応の実際を知りたい時の調べ方（四重極質量分析）
１３． 膜の中身を知りたい時の調べ方（XPS, IR, SIMS）
１４． 困ったときの対処
  14.1　成膜が再現しない時
  14.2　成膜結果が成膜条件に応答しない時
１５． まとめ

＊途中、小休憩を挟みます。

■ご講演中のキーワード
装置、薄膜、化学反応、流れ、反応速度、反応操作、副生成物

セミナー講師

 反応装置工学ラボラトリ 代表　  羽深 等 氏

■ご略歴
1981年3月　京都大学大学院理学研究科修士課程化学専攻　修了(理学修士)
1981年4月～2000年3月　信越化学工業株式会社
1996年9月　広島大学大学院工学研究科　博士（工学）
2000年4月　横浜国立大学工学部物質工学科　助教授
2002年4月～2022年3月　横浜国立大学大学院工学研究院　教授
2022年4月　横浜国立大学大学院工学研究院　名誉教授
2022年4月　反応装置工学ラボラトリ　代表
■ご専門および得意な分野・ご研究
分野：半導体結晶材料製造技術に関わる化学工学研究
物質：シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、GaAsP、InPなど
製造技術の例：薄膜形成（熱CVD, プラズマCVD）の装置とプロセス、ノンプラズマドライエッチング、
半導体ウエハ洗浄、多成分系有機物表面汚染挙動解析
取組みの視点：実験と解析、プロセスと装置の設計と開発、熱流体と化学反応の活用、表面吸着・脱離・反応の測定・解析と設計
■本テーマ関連学協会でのご活動
化学工学会(エレクトロニクス部会部会長、シニア会員)、応用物理学会、日本結晶成長学会、米国化学会、
米国電気化学会(名誉会員)、特定非営利活動法人YUVEC理事、よこはま高度実装技術コンソーシアム(YJC)理事長

セミナー受講料

【オンライン受講（見逃し視聴なし）】：1名 40,700円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき29,700円

【オンライン受講（見逃し視聴あり）】：1名 46,200円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき35,200円

＊学校法人割引：学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 受講にあたってこちらをご確認の上、お申し込みください。
• Zoomを使用したオンラインセミナーです
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• 申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です
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