プラズマCVDによるナノ・微粒子材料の作製技術とプロセスモニタリング

★ナノ・微粒子材料合成への応用と制御に向けたその場計測

セミナー講師

大和大学　特任教授　京都工芸繊維大学　名誉教授　 林Ｒ＆Ｄ代表 　工学博士林　康明　氏

セミナー受講料

1名につき55，000円（消費税込・資料付き）〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49，500円（税込）〕

セミナー趣旨

本セミナーでは、プラズマの物理的・化学的基礎から始めて、プラズマ発生装置、プラズマCVD 、プロセス解析のための計測方法、プロセスのモニタリング・制御、材料合成への応用、特にナノ・微粒子材料合成の方法について分かりやすく講述する。プラズマ化学反応を利用した材料合成・加工の技術に関する研究開発には５０年ほどの歴史がある。特に半導体・電子産業において著しい進展があり、最近はナノ・微粒子材料の作製や、医療・環境・農業などの分野へも展開がなされている。プラズマは高いエネルギーの状態にあり、制御次第で、高速の電子やイオンを利用して効果的かつ自在に材料の合成・加工を行える潜在性を有し、様々な応用がなされてきた。しかし反面、非線形・自己組織化的特徴があり、周囲の環境などに敏感に応答して変化するため、プロセスの最適化や再現性についての課題もある。したがって、プラズマプロセスを真に有用な技術として利用するには、プラズマの物理を理解し、現象をその場でモニタリング・解析しながら制御することが重要となる。

セミナープログラム

１．プラズマの基礎　1.1 プラズマの物理　1.2 プロセスプラズマの発生　1.3 原子・分子からイオン・ラジカルの生成２．プラズマ装置とプラズマプロセス　2.1 プラズマ発生装置と種類　2.2 プラズマCVDの基礎（プラズマCVD技術の発展、真空技術とプロセス工学、 プラズマCVDによる材料合成、気相反応と表面反応）３．プラズマプロセスのモニタリング　3.1 プロセスモニタリングの必要性　3.2 気相と表面の計測とモニタリング　3.3 偏光を利用したモニタリング４．ナノ・微粒子材料のプラズマCVD　4.1 ナノ・微粒子材料の作製　4.2 気相・表面での核発生　4.3 カーボンナノチューブとグラフェンの成長　4.4 ナノ材料成長過程のインプロセスモニタリング【質疑応答】