EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術
| 開催日 | 13:00 ～ 16:00 |
|---|---|
| 主催者 | サイエンス＆テクノロジー株式会社 |
| キーワード | 半導体技術 高分子・樹脂材料 |
| 開催エリア | 全国 |
| 開催場所 | オンライン配信セミナー |
EUVリソグラフィーの基礎とプロセス最適化方法・評価方法
■EUVの基本事項とレジスト材料開発、評価・プロセス技術について解説！■次世代EUVレジストであるメタルレジストの特徴と評価方法についても言及します
受講可能な形式：【Live配信】のみ
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テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】 1名申込みの場合：受講料( 定価：37,400円／E-mail案内登録価格 35,640円 )※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。※他の割引は併用できません。
受講、配布資料などについて
Zoom配信の受講方法・接続確認
- 本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信となります。PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
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- 事前に「Zoom」のインストール(または、ブラウザから参加)可能か、接続可能か等をご確認ください。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー中、講師へのご質問が可能です。
- 以下のテストミーティングより接続とマイク/スピーカーの出力・入力を事前にご確認いただいたうえで、お申込みください。≫ テストミーティングはこちら
配布資料・Live配信受講：製本テキスト(開催日の4、5日前に発送予定) ※開催まで4営業日～前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、 開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。その他注意事項※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
セミナー趣旨
受講対象・レベル
リソグラフィー・レジスト研究者、中堅社員、若手社員で、EUV露光技術に興味のある方
習得できる知識
・EUVリソグラフィーの基礎知識・EUVフォトプロセスの最適化方法の習得・EUVフォトプロセスの評価方法の習得