生体温度域でのスパッタリング成膜技術の基礎とその応用展開～本成膜技術で実現できる応用例について初学者にもわかりやすく解説～＜会場開催セミナー＞

〇生体温度域でのプラズマスパッタリング成膜技術に必要な事項について基本から応用まで解説！

セミナー講師

産業技術総合研究所　センシングシステム研究センター　主任研究員　 本村　大成　先生

■ご略歴：2012年3月　九州大学大学院 総合理工学府 先端エネルギー理工学専攻 博士（工学）2012年3月まで　独立行政法人 日本学術振興会 特別研究員 DC22012年4月　独立行政法人 産業技術総合研究所 研究員 2016年10月から現在まで　国立研究開発法人 産業技術総合研究所 主任研究員 ■ご専門および得意な分野・研究：スパッタリング、成膜、プラズマ応用、RFプラズマ■本テーマ関連学協会でのご活動：2013年4月-2015年3月　応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会, 庶務幹事2020年7月-2022年6月　一般社団法人 プラズマ・核融合学会, 学会誌編集委員 2022年4月-2025年3月　公益社団法人日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）, 幹事

セミナー受講料

1名41,800円(税込（消費税10％）、資料付)　＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円　＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

セミナー趣旨

スパッタリング成膜技術は、金属膜や機能性膜を様々な基材表面に形成できる、半導体プロセスをはじめとした様々な分野で用いられている技術です。これまでは温度ダメージやプラズマダメージなどにより生物体表にスパッタ成膜を行うことは困難とされてきましたが、今回のセミナーでは生物体表にスパッタリング成膜を可能にした新開発のカソードについて重点的に紹介します。スパッタリング成膜技術の特に生体温度域でのプラズマスパッタリング成膜技術に必要な事項について基本から応用まで解説し、本成膜技術で実現できる応用例について初学者にもわかりやすく解説します。

■ご講演中のキーワード：スパッタリング、成膜、プラズマ、磁場配位、低温、生体温度、マグネトロンカソード、SEM前処理

受講対象・レベル

・ スパッタリング成膜を始めたばかりの方から、ある程度の研究経験を経た方。・ マグネトロンスパッタリングカソードの特に磁場配位についての知見を得たいと考えている方・ 低温成膜応用に取り組んでいるが、基材のダメージについて課題があり困っている方・ その他本テーマに興味のある方なら、どなたでも受講可能です。

必要な予備知識

・ 電磁気学やプラズマ理工学の基礎知識があると望ましいが、この分野に興味のある方なら、特に予備知識は必要ない。

習得できる知識

・生体温度域でのスパッタリング成膜に対する基礎知識　・スパッタリングカソードの磁場設計の知見　・スパッタリングカソードの磁気回路の設計指針　・生体温度域での成膜応用についての将来技術

セミナープログラム

1． スパッタリング成膜とは？1） 様々な成膜技術2） 抵抗加熱蒸着法との違い3） プラズマを成膜に用いることの利点4） 基材温度を上昇させるものは何か？2． マグネトロンスパッタリングカソードの磁場配位の基礎1） 磁場中の荷電粒子の運動a） 一様磁場b） 非一様磁場c） 磁気モーメントの保存2） スパッタリング放電に用いられる磁場配位a） 先行技術の事例紹介（マグネトロンカソードを中心に）3． 生体温度域のスパッタリング成膜を可能にするために必要なこと1） 低電力運転2） 低ガス圧力運転3） 高ターゲット使用率4） 生体温度域でのスパッタリング成膜の実現5） 生体温度域スパッタ成膜例a） 細胞サイズのタンパク質表面への金属成膜b） 植物体表への金属成膜c） その他応用事例（窒化アルミニウムの成膜事例など）4． 生体温度域でのスパッタリング成膜技術がもたらす未来＜質疑応答＞