薄膜の剥離メカニズムと密着性改善

セミナー趣旨

受講対象・レベル

薄膜材料・デバイスの設計開発、製造プロセス、品質管理にかかわる中堅技術者、初学者

習得できる知識

・薄膜の剥離・破壊に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
・薄膜の応力や、薄膜／基板界面などの微視的構造の基礎知識
・薄膜の剥離部を観察する際の注意点
・薄膜の剥離トラブルに直面した時の具体的な対処手順
・薄膜の様々な剥離モードに応じた、密着性を向上させる材料設計の考え方

セミナープログラム

１．なぜ剥離が発生するのか
　Introduction 薄膜の剥離トラブルの解決に苦労する理由
　1.1 膜剥離を理解・対策するための３つのポイントとは
　　・剥離形態を観察することで何がわかるか
　　・剥離原因を簡単に絞り込む方法

　1.2 異種材料間の界面を観察してみよう：
　　・剥離トラブルを避けて、密着性を向上させるためには界面のどこの何をみるべきか？
　1.3 異種材料界面がくっついている根本的な要因は何か？
　1.4 密着と粘着・接着との違い

　1.5 薄膜が剥離するとは？：
　　・負荷条件と、膜の剥離・破壊原因および歪みエネルギーの影響と剥離･破壊のモード
　　（引張/圧縮力の負荷、ヒートサイクル、高温保持による剥離･破壊形態の違いの理解）
　1.6 なぜ膜応力が剥離へ大きな影響を与えるのか？
　1.7 薄膜の剥離・破壊を理解し、剥離トラブルに対処する直感的イメージ

２．密着性をどのように評価するか
　Introduction 密着性を評価しても困るケースの具体例
　2.1 密着性を評価したいがどの方法、条件を選べばいいのか：測定条件の影響と測定値の持つ意味
　2.2 様々な密着性評価方法の特長と注意点：テープテスト・3点曲げテスト
　2.3 スクラッチ試験による密着力測定のポイントと材料設計への活かし方

３．密着性をどうやって改善するか
　Introduction よくある剥離トラブル時の対応における失敗例
　3.1 剥離を起こさせない条件を密着性向上の対策につなげる効果的な考え方
　3.2 異種材料界面および表面／界面の改質手法
　3.3 ケーススタディ：剥離要因を絞込み、密着性を改善する手順の具体例

４．まとめ

□　質疑応答 □

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