【Live配信セミナー】シリコンフォトニクスに向けた要素技術の解説とデバイスへの応用展望

★実現に向けた微細加工プロセス、光電コパッケージ、異種材料集積技術を解説

セミナー講師

１． 大阪公立大学　大学院工学研究科　電子物理系専攻　准教授　博士(科学）　高橋 和　氏 ２． (国研)産業技術総合研究所　プラットフォームフォトニクス研究センター　光実装研究チーム　研究員　博士(工学)　中村 文　氏 ３． 東京工業大学　工学院　教授　研究技術組合　光電子融合基盤研究所　異種材料集積デバイス・分散コンピューティング研究開発本部長　博士(工学)　西山 伸彦　氏

セミナー受講料

1名につき60，500円（消費税込・資料付き）〔1社2名以上同時申込の場合1名につき55，000円（税込）〕

受講について

• 本講座はZoomを利用したLive配信セミナーです。セミナー会場での受講はできません。下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。　→ https://zoom.us/test
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• パソコンの他にタブレット、スマートフォンでも視聴できます。
• セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。
• 当日は講師への質問をすることができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。
• 本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
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セミナープログラム

＜１０：３０〜１２：００＞１．シリコンフォトニクスを実現する微細加工、集積技術の解説大阪公立大学　高橋 和 氏

【講演ポイント】○これから半導体工場で働く人、半導体の開発に取り組む人に向けた包括的な微細加工プロセスの説明○微細加工プロセスを開発するさいに根本となるスキル、考え方、戦略を解説○世界最高Q値を持つシリコンフォトニック結晶ナノ共振器をプロセス改善により開発してきた経験からくる実践的な内容○製造工場における静電気対策の大切さ、難しさを説明

【プログラム】１．半導体製造装置を用いてシリコンフォトニクスチップを製作する一連のプロセスを説明２．パターンを決めるフォトリソグラフィー、ナノ構造を形成するドライエッチング、　　現像・リンスなどの化学プロセス、アクティブ機能を付与するPNドーピング　　これら各プロセスのエッセンス、今後の開発方針で重要となる戦略を解説３．半導体チップの微細加工を行う現場現場における注意点４．微細加工の例として高Q値シリコンフォトニック結晶ナノ共振器を取り上げる

【質疑応答】

＜１３：００〜１４：３０＞ ２．シリコンフォトニクスを用いた光電コパッケージ用パッケージ基板の開発動向(国研)産業技術総合研究所　中村 文 氏　

【講演ポイント】人工知能(AI)の急速な発達に伴って、多数のサーバを用いた並列計算を実現する大容量、低遅延、低電力なネットワークが求められている。現在の半導体パッケージでは、電気配線部分でのエネルギー効率や遅延の問題から、入出力帯域幅に制限がある。光電コパッケージ技術はパッケージ上に光素子を実装する技術であり、電気配線部分を短くすることで、入出力帯域幅のボトルネックを解消すると期待されている。本講座では光電コパッケージの研究背景や世界的な研究動向について解説し、弊所にて開発を進めている、高密度な光電融合が可能な光電コパッケージ技術について紹介する。

【プログラム】１．光電コパッケージ技術の概要 　1.1 なぜ光電コパッケージか？ 　1.2 光電コパッケージのロードマップ 　1.3 最近の光電コパッケージ研究動向２．シリコンフォトニクスを用いたパッケージ基板の開発 　2.1 光パッケージに足りない技術は？ 　2.2 シリコンフォトニクスを用いたパッケージ基板の概要 　2.3 各種要素技術 　　2.2.1 シングルモードポリマー導波路 　　2.2.2 光コネクタ 　　2.2.3 マイクロミラー光再配線構造 　　2.2.4 熱解析 　　2.2.5 インプリントを用いた実装技術開発 　2.4 試作と信号伝送評価結果 　2.5 今後の課題３．まとめ

【質疑応答】

＜１４：４０〜１６：１０＞ ３．Siプラットフォーム上光デバイスの最近の進展と集積・測定技術の解説東京工業大学　西山 伸彦 氏　

【講演ポイント】シリコンプラットフォーム上の光デバイスの現状を述べたのち、将来のさらなる高性能化のために、異種材料を組み合わせた光集積回路の必要性について、議論する。その後、具体的な異種材料集積技術とそれを利用したデバイスについて、現状を述べたい。また、シリコンフォトニクスの大量生産を支えるコア技術となるウェハレベル測定技術についてその特長と利用のためのポイントを概説する。

【プログラム】１．シリコンを利用した光デバイス２．異種材料集積技術を中心とした集積・実装技術３．異種材料集積技術を利用したシリコンプラットフォーム上光デバイス・集積回路４．大規模一括測定のためのウェハレベルプロービング技術

【質疑応答】