グラフェンの基礎・特性・高機能化と実用化に向けた将来展望

セミナー趣旨

　グラフェンは炭素原子1層で構成された二次元材料であり、キャリア移動度がSiの100倍以上、熱伝導度が銅の10倍以上等の優れた物性を持つことから、省エネで軽量な透明導電膜や放熱部材、電子デバイスへの応用が研究されています。さらに、原子数層の薄さのため食品ロスやインフラ技術に貢献するフレキシブルなバリア膜・保護膜として期待されています。ここ数年で、グラフェンの量産技術や高機能化、用途開発等において大きく進展しています。
　グラフェンは原子層であるために扱いが困難です。本セミナーでは、グラフェン特有の特徴、合成方法、CVDグラフェン特有の転写技術、物性を引き出す構造作製の要素技術を、実験室レベルでの扱い方も含めて紹介します。さらに、ドーピングや積層、複合化による高機能化技術、原子層の評価技術を解説し、透明導電膜や電子デバイス、バリア膜、エネルギー部材応用への展開を説明します。最後に、実用化への課題や今後への期待を述べます。

習得できる知識

・グラフェンのCVD合成技術
・CVDグラフェンの転写技術
・グラフェンの評価原理と技術
・グラフェンへのドーピング技術
・グラフェンの積層化技術
・グラフェンの応用展開

セミナープログラム

１．グラフェンの特徴
　1.1 電気的特性
　1.2 光学的特性
　1.3 熱的特性
　1.4 バリア性

２．グラフェン形成・合成技術
　2.1 機械剥離法
　2.2 酸化グラフェンの還元法
　2.3 熱CVD法
　2.4 プラズマCVD法
　2.5 連続CVD合成技術
　2.6 実験室でのCVDグラフェン及び酸化グラフェン合成の具体例

３．CVDグラフェンの転写技術
　3.1 実験室での具体例
　3.2 大面積転写技術・連続転写技術

４．グラフェンの評価技術開発
　4.1 ラマン分光法による欠陥・層数・応力の評価
　4.2 バックゲート型FET構造を用いた電気特性評価
　4.3 微細加工を必要としない電気特性予測技術

５．グラフェンの高機能化技術
　5.1 CVDグラフェンへのドーピング技術
　5.2 CVDグラフェンへの積層化技術
　5.3 加工技術
　5.4 グラフェンの構造制御技術

６．CVDグラフェンの応用
　6.1 透明導電膜
　6.2 デバイス・センサ
　6.3 バリア膜・保護膜
　6.4 放熱部材
　6.5 摺動部剤
　6.6 エネルギー分野応用探索

７．グラフェン産業化への課題

８．まとめ

【質疑応答】

【キーワード】
CVDグラフェン、酸化グラフェン、グラフェン転写技術、デバイス作製技術、グラフェン複合・積層化技術、透明導電膜、バリア膜、高移動度化、非破壊検査

セミナー講師

産業技術総合研究所　 ナノカーボンデバイス研究センター　 山田　貴壽　氏

【経歴】
1998年3月 東海大学大学院工学研究科博士前期課程電子工学専攻 修了
1998年4月 青山学院大学理工学部電気電子工学科 助手
2003年4月 東北大学多元物質科学研究所 助手
2004年1月 産業技術総合研究所入所ダイヤモンド研究センター
2010年4月 同 ナノチューブ応用研究センター
2015年3月 同 ナノ材料研究部門
2022年4月 同 ナノカーボンデバイス研究センター
【専門内容】
グラフェン、ダイヤモンド、窒化ホウ素、電気特性評価、仕事関数、電子放出、光電子分光、CVD、ドーピング、センサー

セミナー受講料

【1名の場合】39,600円(税込、資料作成費用を含む)
2名以上は一人につき、11,000円が加算されます。