ＸＰＳ（ＥＳＣＡ）の基礎と応用

セミナー趣旨

受講対象・レベル

・XPS(ESCA)装置を使用されている方（初心者～中級者）
・XPS(ESCA)データを解釈する必要がある方
・表面分析による解析を立案する必要がある方

習得できる知識

・XPS分析の原理
・XPS析の進め方
・XPS(ESCA)データ解釈の注意点
・各種表面分析の中でのXPS分析の特徴と組み合わせ方

セミナープログラム

本セミナーは、XPSの原理、試料作製と測定条件の設定方法、データ解析を適切に
おこなうためのノウハウを紹介し、応用例を用いてわかりやすく解説する。

１．表面分析とは
　1.1 材料表面・界面の重要性
　1.2 各種表面分析手法
　1.3 AES（オージェ電子分光法）との比較
　1.4 TOF-SIMS（飛行時間型二次イオン質量分析法）との比較

２．XPSの原理と特徴
　2.1 XPS装置の構成
　2.2 XPS分析の原理
　2.3 XPSスペクトルと化学シフト
　2.4 XPS分析が表面分析となる理由
　2.5 深さ方向分析
　2.6 イメージング分析

３．XPSの試料作成と測定条件
　3.1 測定できる試料とその形状
　3.2 サンプリングの注意点　
　3.3 粉末試料
　3.4 絶縁試料
　3.5 電池材料、および導電物と絶縁物の混在試料

４．測定
　4.1 ワイドスペクトル (サーベイスペクトル)
　4.2 ナロースペクトル

５．データ処理
　5.1 定量計算
　5.2 定量範囲の決定
　5.3 化学状態の推定 (カーブフィッティング)

６．最新の測定技術
　6.1 マイクロXPS分析
　6.2 ガスクラスターイオン銃による有機試料の深さ方向分析
　6.3 高エネルギーXPS (HAXPES)
　6.4 UPS (紫外光電子分光法) とLEIPS (逆光電子分光法)
　6.5 AESと組み合わせた分析
　6.6 TOF-SIMSと組み合わせた分析

７．よくある質問
　スピン軌道相互作用による2本のピーク
　サテライトピーク
　あり得ない（？）ピークの解決
　分析結果をきれいに見せる方法
　角度分解XPSによる薄膜構造解析

８．まとめ、質疑

セミナー講師

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