材料表面間の機械的応答特性制御のためのプラズマ・DLC成膜技術の最新動向〜岐阜大学で行っている、超高速DLC成膜や細穴内面DLC成膜、プラズマ支援潤滑、低付着化技術を中心として〜

　PVD、CVDによるDLC成膜の基礎から
　各種先進的な取組みまでを1日速習！

講師

岐阜大学　工学部　機械工学科機械コース　教授　博士（工学）　上坂 裕之 先生
地域連携・スマート金型技術研究センター（兼務）

【講師略歴】
　平成１５年　４月　名古屋工業大学助手（大学院工学研究科　つくり領域）
　平成１６年　４月　名古屋大学助手（大学院工学研究科　機械理工学専攻）
　平成１８年　３月　名古屋大学講師（大学院工学研究科　機械理工学専攻）
　平成２０年　４月　名古屋大学准教授（大学院工学研究科　機械理工学専攻）
　平成２８年　７月　岐阜大学教授（工学部　機械工学科）
　　　　　　　　　　地域連携スマート金型技術研究センター（兼務）、現在に至る。

【専門】
　プラズマ理工学（実験，シミュレーション）、トライボロジー、表面加工、
　高機能表面（新たな興味：コンパクトライン、IoT、金型、射出成形、付着）

【本テーマ関連学協会での活動】
　日本機械学会、日本トライボロジー学会（機能性コーティングの最適設計技術研究会、主査）、
　応用物理学会（プラズマエレクトロ二クス分科会、会員）、
　表面技術協会（高機能トライボ表面プロセス部会、代表幹事）に所属。
　国際会議ICMCTF　セッションG4チェア（2019-2021）

受講料

1名46,440円(税込（消費税8％）、資料・昼食付) 　
＊1社2名以上同時申込の場合 、1名につき35,640円 　　　　　
＊学校法人割引 ；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

セミナーポイント

■はじめに
　トライボロジー応用を中心としてDLC(Diamond-Like Carbon)の利用が着実に広まってきている。
DLC成膜技術について、PVD、CVDによる成膜の基礎からはじめて、DLC成膜を対象とする
各種の先進的な取組を紹介する。
　特に講義後半では岐阜大学・上坂研究室のシーズや最新成果を豊富な事例とともに紹介する。
具体的にはマイクロ波励起・高密度・基材包囲プラズマを用いたCVDによる超高速DLC成膜、
細穴内面DLC成膜などを紹介する。また、DLC膜を用いたしゅう動界面における低摩擦発現について、
従来の研究事例や我々の最新事例を基礎から応用に至るまで豊富に紹介し、理解を深める。
　さらに、大気圧プラズマ支援による低摩擦化促進について紹介する。
　最後にプラズマ処理やDLCの応用による材料表面間の低付着化技術を紹介する。

■受講対象
プラズマ処理・DLC成膜の初心者

■必要な予備知識
プラズマやトライボロジーに関する知識や業務上の経験があることが望ましい
（理解に必要な最低限の基礎知識は講義中にお伝えするので必須ではない。）

■本セミナーに参加して修得できること
・プラズマの基礎知識
・PVD、CVD技術の基礎知識
・DLCやそのトライボロジー特性に関する基礎知識
・マイクロ波励起・高密度・基材包囲プラズマの原理と応用技術
・大気圧プラズマ支援による低摩擦化促進に関する基礎知識
・プラズマ処理やDLC膜の適用による材料表面間低付着化に関する基礎知識

セミナー内容

１．表面処理とプラズマ

２．プラズマとは？

３．ハードコーティング
　　　1）ハードコーティングに求められる機能
　　　2）DLCの特徴と膜構造制御指針の基礎
　　　3）成膜技術の基礎
　　　　　 a) 熱CVD
　　　　　 b) PVD1(アーク放電：イオンプレーティング)
　　　　　 c) PVD2（グロー放電：スパッタリング）
　　　　　 d) プラズマCVD

４．DLCのトライボロジー応用の基礎
　　　1）低摩擦発現の基礎（従来の研究事例の紹介）
　　　2）低摩擦発現の基礎（最新の研究事例の紹介）
　　　3）大気圧プラズマ支援による低摩擦発現促進の基礎（a-CNxを事例として）

５．マイクロ波プラズマによる表面機械特性の制御
　　　1）マイクロ波プラズマの基礎
　　　2）従来手法によるDLC成膜事例
　　　3）表面波励起プラズマ
　　　　　 　a) 表面波励起プラズマの基礎
　　　　　 　b) 応用事例
　　　　　　　　（DLC成膜，樹脂表面処理による金属との低付着化，ほか）
　　　　　　　　（金属と樹脂との付着力低減）
　　　4) マイクロ波励起・高密度・基材包囲プラズマによる超高速DLC成膜
　　　　　 　a) マイクロ波励起・高密度・基材包囲プラズマの基礎
　　　　　 　b) 膜硬度の支配要因とプロセス制御指針
　　　　　　 c) 超高速成膜されたSi-DLC膜の摩擦特性
　　　　　　 d) ガスフローの活用による1000 μm/hを超える超々高速DLC成膜
　　　5) マイクロ波励起・高密度・基材包囲プラズマによる細穴内面DLC成膜
　　　　　 　a) 内径4.4 mm、長さ50 mmのステンレス鋼パイプ内面へのDLC成膜事例
　　　　　 　b) パルス枯渇成膜による均一化
　　　　　　 c) 他の細穴内面DLC成膜技術との比較
　　　　　　 d) 100μm径の内面へのガスフロー支援DLC成膜
　　　6) マイクロ波励起・高密度・基材包囲プラズマのDLC成膜以外への応用
　　　　　　（工具除膜，窒化，浸炭技術などへ応用）

６．大気圧プラズマ支援による低摩擦発現促進（応用事例）
　　　1）樹脂材料とDLC間のしゅう動におけるなじみ促進と低摩擦化
　　　2）鋼材とDLC間のしゅう動におけるなじみ促進と低摩擦化

７．プラズマ処理・DLCによる低付着化技術
　　　1）樹脂材料のプラズマ処理による低付着化とその作用メカニズム
　　　　　　（力学的な要因が大きい！！！）
　　　2）射出成型金型の離型性向上に向けたDLC適用の検討