プラズマの基礎と各種応用技術―生成原理・特徴から表面改質、各分野への応用まで―

★表面改質・表面加工や洗浄・殺菌・生理活性効果等々・・！半導体・金属・ポリマーから医療・農業・食品まで、様々な分野で応用が期待されるプラズマ技術の基礎及び適用のポイントを解説！

★プラズマの計測・診断法から表面反応の相互作用についても言及！ ★最先端のプラズマ利用における技術的指針となるセミナーです。

講師

名古屋大学 プラズマナノ工学研究センター　特任教授 博士（工学） 　石川 健治 先生

受講料

1名46,440円(税込（消費税8％）、資料・昼食付) 　

＊1社2名以上同時申込の場合 、1名につき35,640円 　　　　　

＊学校法人割引 ；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

セミナーポイント

　半導体製造・金属・ポリマー・バイオや農業・食品といった様々な分野で用いられるプラズマプロセスの基礎からドライプロセス技術としての各種応用まで解説する．
　プラズマ技術は、超微細エッチングやプラズマCVD成膜，グラフェンをはじめとする各種ナノ材料・構造の創製など，一原子一分子プロセスの活用が広がっている．また、医療や農業など，新たな分野への応用展開も注目されている。
　本セミナーでは、これらの最先端のプラズマ利用における技術的な指針を与える．
　このセミナーにて実用技術の基礎を知り，従来からプラズマプロセスを利用している分野から新しい分野においても新しい技術を考案・活用する一助となれば幸いである。

○受講対象：
　・各企業の技術者・研究開発者
　・プラズマで何ができるか、その可能性を知りたい／見極めたい方
　・プラズマ装置メーカの方／半導体プロセス技術従事者
　・農業・医療・食品等の（今までプラズマを活用されていなかった）分野の方々
　・新規市場、新規テーマを調査・探索している企画・戦略担当者
　など

○受講後、習得できること：
　・プラズマについての基本的な生成原理と特徴
　・ドライプロセスの基礎
　・大気圧プラズマの基礎
　・プラズマの表面処理分野への応用事例
　・プラズマの医療・食品・農業分野への応用事例
　など

セミナー内容

１．プラズマプロセスの基礎・原理とその特性
　１．１　プロセスの研究開発とは
　　１）原料から最終製品を生み出すメカニズム
　　２）プロセス速度を決める諸量とその制御
　１．２　プラズマとは
　　１）プラズマの構成要素
　　２）プラズマの中で起きること
　１．３　プラズマプロセスにおける装置等とその取扱い
　　１）真空プロセスの基礎
　　２）大気圧プロセスの基礎
　１．４　プラズマの生成原理・生成過程
　　１）電子衝突反応−電離・励起・解離など−
　　２）放電方法−直流放電・高周波放電・マイクロ波放電など−
　１．５　プラズマの特性　密度と温度
　　１）プラズマ密度の決定機構
　　２）プラズマ温度の観点

２．プラズマの機能・効果と反応・作用機序
　２．１　表面改質
　　１）濡れ性　水を弾く表面をつくる
　　２）防汚性　汚れにくい表面をつくる
　２．２　表面加工
　　１）成膜　プラズマを使ってコーティング
　　２）エッチング　プラズマを使って物質除去
　２．３　洗浄
　　１）有機物の除去
　　２）酸化物の除去
　２．４　殺菌
　　１）表面の菌を不活性化する
　　２）液中の菌を不活性化する
　２．５　生理活性・鮮度維持
　　１）プラズマによる賦活化
　　２）プラズマの酵素活性への影響

３．プラズマの計測法
　３．１　電子の診断法
　　１）探針法　表面波プローブ，プラズマ吸収プローブ
　　２）レーザートムソン散乱
　　３）マイクロ波干渉法
　３．２　原子・分子の診断法
　　１）発光分光法
　　２）レーザー散乱　レーザー誘起蛍光法，ラマン散乱法
　　３）吸収法　真空紫外吸収，紫外吸収
　　４）質量分析法　出現イオン化
　３．３　プラズマ診断の実践
　　１）プロセスプラズマへの応用
　　２）大気圧プラズマへの応用
　３．４　理論，計算科学アプローチ
　　１）気相反応モデリング
　　２）プラズマシースモデリング

４．プラズマと表面の相互作用の物理と化学
　４．１　表面反応の基礎　非平衡反応場・非線形
　４．２　表面反応の計測法
　　１）表面化学結合
　　　ａ）Ｘ線光電子分光
　　　ｂ）赤外分光法
　　２）ラジカルとプラズマ誘起ダメージ
　　　ａ）電子スピン共鳴法　
　　　ｂ）電気計測法　深い準位の過渡応答分光（ＤＬＴＳ）
　４．３　プラズマ誘起表面反応診断の実践
　　１）プロセスプラズマへの応用
　　２）大気圧プラズマへの応用
　４．４　理論，計算科学アプローチ
　　１）表面反応モデリング
　　２）形状時間発展モデリング
　　３）装置シミュレーション

５．応用展開
　　〜各種応用に向けた装置の開発・設計とその制御、適用のポイント等〜
　５．１　成膜応用　プラズマ科学気相成長（ＣＶＤ）法
　　１）半導体・酸化物・窒化物の堆積　アモルファスシリコン，シリコン酸化膜，シリコン窒化膜など
　　２）カーボン材料の堆積　ダイアモンドライクカーボン（DLC）膜，グラフェンなど
　５．２　エッチング・微細加工応用
　　１）シリコン系材料のエッチング　シリコン，シリコン酸化膜，シリコン窒化膜など
　　２）化合物や金属のエッチング　窒化ガリウム，磁性体
　５．３　接着・接合技術
　　１）表面活性化　金属―樹脂接着
　　２）プラズマ活性直接接合
　５．４　医療応用
　　１）低温プラズマ止血
　　２）がん治療
　５．５　農業応用
　　１）ポストハーベスト　無農薬鮮度保持
　　２）成長促進　種子発芽や生育促進
　５．６　食品応用
　　１）食品パッケージ　パッケージ内殺菌
　　２）酵素の不活性化と再活性化　鮮度保持
　５．７　将来動向と未来展望
　　１）非平衡化学が拓く新産業
　　２）未来をつくるプラズマ

６．質疑応答