大気圧ミスト（微粒子）プラズマの実用技術 〜その基礎と農業・医療・食品分野への応用〜

プラズマと微粒子（ミスト）の組み合わせに踏み込みながら、
プラズマの実用技術を多岐に渡って紹介

殺菌効果はどれくらい？ 植物の発芽促進？ 細胞の増殖？
微粒子を含むプラズマの研究動向・可能性も

講師

京都工芸繊維大学 電気電子工学系　准教授　博士（工学） 髙橋 和生 先生

【略歴】
2000年01月～ 日本学術振興会 特別研究員
2001年02月～2006年03月 京都大学大学院工学研究科 助手
2005年06月～2006年03月 ドイツ連邦共和国マックスプランク研究所 客員研究員
2006年04月～ 京都工芸繊維大学 助教授 准教授
2015年04月～20015年10月 フランス共和国オルレアン大学 客員教授

【研究分野】
微粒子プラズマの物理および化学
プラズマ中の微粒子の挙動解析
微粒子プラズマに関する微小重力科学
微粒子プラズマの応用
プラズマによる薄膜形成とエッチング
大気圧プラズマを利用した殺菌と生物活性化に関する技術開発

受講料

1名41,040円(税込（消費税8％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合 、1名につき30,240円
＊学校法人割引 ；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

セミナーポイント

■ 講師より／本セミナーのポイント
　プラズマは半導体プロセスにおいて重要な役割を担っています。近年では、プラズマは大気圧下での表面改質にも多用され、プラズマが持つ殺菌効果にも期待されるようにもなりました。
　本セミナーでは、生体へのプラズマ照射が注目される中、保湿の観点から水を導入するに際し、微粒子としてのミストの利用について検討した例を取り上げます。一般にあまり知られることのないプラズマと微粒子（ミスト）の組み合わせに踏み込みながら、プラズマの実用技術を多岐に渡って紹介します。このセミナーにて実用技術の基礎を知り、農業や医療・食品分野において新しい技術を考案する一助としてくだされば幸いです。

■ 受講対象者は？
・各企業の技術者・研究開発者
・プラズマが農業・医療・食品等の（今まで活用されていなかった）分野でどんな役割を
　果たすか、プラズマで何ができるか、その可能性を知りたい／見極めたい方
・プラズマ技術を農業・医療・ヘルスケア・生活環境・食品の分野・領域へ展開したいと
　考えている方々
・プラズマ発生装置メーカの方／半導体プロセス技術従事者
・粉体、微粒子を扱うために新しい技術を探している方々
・新規市場、新規テーマを調査・探索している企画・戦略担当者　など

■ 受講することで得られる知識/ノウハウは？
・プラズマについての基本的な生成原理と特徴
・プラズマプロセスの実際とそこでの物理・化学の考え方
・大気圧放電・プラズマに関する技術の基礎
・プラズマ／ミストプラズマの医療・食品・農業・生活空間分野への応用事例と
　今後のアイデア・可能性
・微粒子を含むプラズマに関する研究動向と可能性

セミナー内容

1. プラズマ（放電）
　1.1　プラズマ（放電）の実用例
　　1.1.1　半導体プロセス
　　1.1.2　表面処理（濡れ性、密着性の改善）
　　1.1.3　オゾン生成・空気清浄機
　1.2　プラズマの基礎
　　1.2.1　プラズマの様態（グローとシース）
　　1.2.2　生成法（直流放電、高周波放電、バリア放電）
　　1.2.3　励起反応と活性種（有益な化学反応を起こすラジカル種）

2. プラズマ制御の概念
　2.1　半導体プロセスにおける考え方
　　2.1.1　反応性イオンエッチング
　　2.1.2　シリコン・酸化膜エッチングにおける化学反応
　2.2　表面改質における考え方
　　2.2.1　撥水・親水処理
　　2.2.2　処理表面における化学反応
　2.3　オゾン生成における考え方
　　2.3.1　オゾナイザ
　　2.3.2　気相における化学反応

3. 大気圧プラズマ（放電）の応用
　3.1　殺菌と医療
　　3.1.1　殺菌に関する研究例
　　3.1.2　医療に関する研究例
　　3.1.3　生体における化学反応（化学反応と殺菌の関わり）
　3.2　農業
　　3.2.1　植物の発芽促進に関する研究例
　　3.2.2　細胞の増殖に関する研究例
　3.3　食品
　　3.3.1　香辛料の処理に関する研究例

4. ミスト（微粒子）を含むプラズマ
　4.1　身の回りの微粒子プラズマ
　　4.1.1　微粒子プラズマの物理（帯電とはたらく力）
　　4.1.2　微粒子プラズマの化学（均質核生成とその化学反応）
　4.2　微粒子プラズマの応用
　　4.2.1　微粒子の創成と表面処理
　　4.2.2　微粒子マニピュレーション
　4.3　ミストプラズマの実用技術
　　4.3.1　殺菌
　　4.3.2　生体表面処理

5. 微粒子を含む大気圧プラズマ（放電）の将来展望
　5.1　空気清浄
　5.2　表面処理
　5.3　微粒子の高機能化（高付加価値微粒子の作製）
　5.4　機能デバイスとしての微粒子プラズマ（電磁波制御、ディスプレイ応用）
　5.5　生体とのかかわり
 
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