酸化物半導体の基礎と三次元集積デバイス応用に向けた研究開発動向

～ 酸化物半導体の材料・プロセス・デバイス特性（薄膜形成・トランジスタ形成技術） ～
～ 三次元集積化技術（3Dメモリデバイス、DRAM、NAND）への展開 ～

　受講可能な形式：【ライブ配信(見逃し配信付)】のみ ​
　★見逃し配信のみの視聴も可能です（視聴期間：10/19～10/26）　

酸化物半導体は IGZOの実用化をはじめ、低温形成・高移動度・透明性・低リーク電流といった特長から、モノリシック3D集積化や三次元DRAM・NAND など、三次元集積デバイス応用へ注目が集まっており、研究開発が急速に進展しています。

本セミナーでは、酸化物半導体の 材料物性・プロセス技術・デバイス特性 の基礎を整理しながら、三次元集積デバイス応用に向けた最新の開発動向を解説します。

キーワード：酸化物半導体、三次元集積、メモリ 

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    セミナー趣旨

    　IGZOをはじめとする酸化物半導体は、低温形成可能、高移動度、透明、低リーク電流といった優れた特性を有し、ディスプレイ分野で量産技術として成功を収めた。現在、酸化物半導体の集積デバイス技術への応用への期待が高まってきている。特に、プロセッサとメモリアレイを同一チップに集積化するモノリシック3D集積化や、DRAMまたはNAND向けの三次元構造メモリへの応用が期待されおり、半導体メーカーでの研究開発も活発化している。このような状況をふまえて本講演では酸化物半導体の基礎を解説するとともに、最近の三次元デバイス応用に向けた研究開発動向を解説する。

    受講対象・レベル

    半導体の材料・プロセス・デバイスのいずれかに関する一般的な基礎知識を有していることが望ましい。

    習得できる知識

     　・酸化物半導体の材料物性、プロセス技術、デバイス技術に関する基礎　
    　・三次元集積デバイス応用に向けた最近の酸化物半導体デバイスの研究開発動向

    セミナープログラム

    １．背景
     ・酸化物半導体のニーズ
    　 -なぜ酸化物半導体か？

    ２．酸化物半導体の基礎
     ・酸化物半導体の材料物性
    　　-シリコンと何が違うか？                                      
     ・酸化物半導体のプロセス技術
    　　-薄膜形成技術、
    　　-トランジスタ形成技術
     ・酸化物半導体のデバイス技術
    　　-トランジスタの性能
    　　-トランジスタの信頼性

    ３．三次元集積デバイス応用の研究開発動向 
     ・集積デバイスの現状
    　　-シリコンの限界
     ・モノリシック三次元集積技術
    　　-混載メモリ
     ・三次元構造メモリデバイス
    　　-三次元DRAM
    　　-三次元NAND 

    ４．まとめ

    　□質疑応答□

    セミナー講師

    東京大学　生産技術研究所　教授　Ph.D（電子工学）　小林 正治​　氏

    【ご経歴】
    2010年　米国スタンフォード大学博士課程修了
    2010年-2014年　米国IBMワトソン研究所 プロパー研究員
    2014年-2019年　東京大学生産技術研究所 准教授
    2019年-2025年　東京大学大学院工学系研究科附属d.lab 准教授
    2025年より　東京大学生産技術研究所　教授

    【ご専門】
    集積ナノエレクトロニクス

    セミナー受講料

    49,500円

    定価：本体45,000円＋税4,500円
    E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料

    1名分無料適用条件

    ※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
    　　2名様以降の受講者は、申込み前にE-mail案内登録をお済ませください。​​​
    ※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
    ※請求書（クレジットカード決済の場合は領収書)）は、代表者にS&T会員マイページにて発行いたします（PDF）。
    ※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
    　(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
    ※他の割引は併用できません。
    2名で49,500円 (2名ともE-Mail案内登録必須​／１名あたり定価半額の24,750円)
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    1名申込み： 受講料 39,600円(E-Mail案内登録価格 37,840円)
    　定価：本体36,000円＋税3,600円
    　E-Mail案内登録価格：本体34,400円＋税3,440円
    　　※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
    　　※他の割引は併用できません。 

     

    主催者

    開催場所

    全国

    備考

    配布資料
     PDFテキスト(印刷可・編集不可)
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    開催日時


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