二次元半導体材料・単層TMDCのマルチスケール成長・合成とデバイス応用

セミナー趣旨

  本セミナーでは、二次元半導体として知られる単層の遷移金属ダイカルコゲナイド（TMDC）、ミリメートルスケールからナノメートルスケールで構造制御し合成する技術、およびプラズマによる原子置換を用いたアトミックスケールでの結晶構造制御に関して、最先端研究のレビューおよび講演者の研究紹介を行う。さらに、TMDCの構造制御が拓く電子デバイス応用に関しても紹介を行う。

受講対象・レベル

・次世代半導体材料・部材の研究開発者
・二次元材料・TMDCの調査・研究を進めている方

習得できる知識

・二次元材料・TMDCの基礎知識
・二次元半導体・TMDC合成に関する研究動向
・二次元材料・TMDCのデバイス応用に関する研究動向

セミナープログラム

１．遷移金属ダイカルコゲナイド・TMDCの基本的な特性
　1-1. TMDCの材料ファミリーと代表例
　1-2. 結晶構造・対称性と物性の関係
　1-3. 電子物性の要点
　1-4. 光学特性の要点
　1-5. Van der Waals積層とヘテロ構造
２．TMDCの合成方法
　2-1. 様々な合成法の種類と特徴
　2-2. 気相成長（CVD/MOCVD等）の基礎
　2-3. VLS成長（気相-液相-固相）の位置づけ
　2-4. VLS成長による大面積成長とメカニズム
　2-5. VLS成長によるナノ構造合成
　2-6. 酸化物テンプレートを用いた新規合成法
　2-7. スケールアップとプロセス統合の課題
３．プラズマを用いた原子置換法
　3-1. 原子置換（アニオン置換・カチオン置換）の狙い
　3-2. ヤヌスTMDCの基礎と特徴
　3-3. 室温原子置換（RT-ALS）のプロセス概念
　3-4. プラズマ損傷・欠陥生成とその評価
　3-5. 他手法との比較
４．TMDCのデバイス応用
　4-1. FET応用の基本構造と性能指標
　4-2. ボトルネック：コンタクトと界面
　4-3. 構造制御（mm→nm→原子）とデバイス性能のつながり
　4-4. 新原理デバイスの例示
　4-5. 実装・量産観点の課題整理
＜質疑応答＞

＊途中、小休憩を挟みます。

セミナー講師

 岡山大学 学術研究院 環境生命自然科学学域 研究准教授 PhD　 鈴木 弘朗 氏

■ご略歴
2015年に東北大学工学部電気情報物理工学科を卒業し、
年に同大学大学院工学研究科博士課程を修了して博士（工学）の学位を取得した。
2018年から2020年まで日本学術振興会（JSPS）海外特別研究員としてドイツ・RWTHアーヘン工科大学に滞在し、
低次元材料の量子物性に関する研究に従事した。その後、岡山大学に着任し、
現在は同大学において助教および研究准教授を務めている。
2023年には、優れたナノ材料研究に対して贈られる大澤奨励賞を受賞した。
現在は、グラフェン、カーボンナノチューブ、遷移金属ダイカルコゲナイド（TMDC）などの低次元材料の合成、
材料特性評価および光電子デバイス応用に取り組んでいる。

セミナー受講料

1名45,100円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき34,100円
＊学校法人割引：学生、教員のご参加は受講料50％割引。

主催者

開催場所

受講について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 受講にあたってこちらをご確認の上、お申し込みください。
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