＜1日速習セミナー＞スパッタリング・真空蒸着〜基本知識とトラブル対策〜〜大切なポイントを具体的に、分かりやすく解説します！〜

　【岩村先生の好評セミナー】 今回は少し時間を延長しました。
　主に無機/金属薄膜を取り上げますが、最新の話題を含め幅広い
　成膜技術を紹介します。

講師

ペルノックス株式会社
開発統括部　開発センター長 工学博士　岩村 栄治 先生

【略歴】
１９９０年　東京大学工学研究科修士課程修了（金属工学専攻）
２０００年　工学博士　（東京大学）
１９９０年～２００１年　（株）神戸製鋼所　技術開発本部　研究員
１９９４年～１９９６年　スタンフォード大学材料科学工学科　客員研究員
２００２年～２００５年　科学技術振興機構　さきがけ研究２１　個人研究者
２００５年～　荒川化学工業株式会社　(2013～ペルノックス株式会社)

【専門】
機能性材料設計、ナノ複合構造制御、薄膜形成プロセス、微細構造評価

【本テーマ関連学協会での活動】
受賞：日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞
著書：「薄膜の応力・密着力・剥離トラブルハンドブック＜Q&A集付＞」（情報機構）

受講料

1名48,600円(税込（消費税8％）、資料・昼食付) 　
＊1社2名以上同時申込の場合 、1名につき37,800円 　　　　　
＊学校法人割引 ；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

セミナーポイント

■はじめに
　本セミナーでは、スパッタや真空蒸着によって薄膜を作成しようとする場合に頻繁に
問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、その基本となる考え方から現象の詳細、
評価方法と材料設計への活かし方、対策に至るまでを具体的な成膜や特性改善事例を
まじえながらわかりやすく解説します。
　主に無機・金属薄膜を取り上げますが、最新の話題を含めてできるだけ幅広い成膜技術を
紹介します。特に、現在成膜に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術をより
深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方、成膜品の品質検査や管理に関わる方に
ご参考になるような話題を提供したいと思います。

■受講対象
・スパッタ／真空蒸着を用いた成膜技術に関わる初学者
・製品／プロセス開発に携わる中堅技術者
・成膜品検査や品質管理に関わる技術者

■本セミナーに参加して修得できること
・成膜と薄膜形成の基礎知識
・膜質制御・剥離対策に必要な基礎知識
・密着力の評価方法と管理の基礎知識

セミナー内容

Ｉ．成膜プロセスと薄膜形成現象を理解したい
　１．各種成膜プロセスの特徴とどこに注目・注意したらよいのか
　２．スパッタと真空蒸着の違い
　３．装置と真空の基本：成膜プロセスを理解する必要最小限の基礎知識
　　　　3.1 これだけ知っておけば間違いのない真空の基本
　　　　3.2 真空環境
　　　　3.3 真空の維持
　４．薄膜の初期構造や微視的組織はどのように形成されるのか
　５．成膜パラメータの制御やプロセスの最適化で注意したいポイント
　　　　5.1 何をすればいいのか？
　　　　5.2 成膜プロセスの最適化はどうすればできるのか？
　　　　5.3 成膜の制御・最適化の考え方

II．膜の均一性・均質性を制御したい
　１．成膜環境と粒子輸送の基本
　２．プラズマとは：制御パラメータと評価方法
　　　　2.1 プラズマ制御パラメータとプラズマパラメータ
　　　　2.2 プラズマ診断法
　３．プラズマ特性・分布と膜質への影響
　　　　3.1 プラズマ特性と電子エネルギー分布関数の評価
　　　　3.2 a-C膜にみるプラズマパラメータと微細構造との関係
　　　　3.3 膜質の不均一性：プラズマの影響
　　　　3.4 局所的な密着力低下
　　　　3.5 磁場制御による比抵抗分布の均一化
　４．イオン・高エネルギー照射現象と膜質制御におけるポイント
　　　　4.1 現象の概要
　　　　4.2 照射効果による膜質・膜特性の変化
　　　　4.3 イオン照射と残留応力の関係：Davisモデル
　５．反応性成膜の基礎知識と膜質制御のポイント

III．膜欠陥を減らしたい
　１．薄膜に発生する欠陥
　　　　1.1 薄膜表面に生じるマクロな欠陥
　　　　1.2 パーティクルによる問題：水蒸気バリア性への影響
　２．ゴミ・パーティクル・コンタミ対策
　　　　2.1 パーティクルの抑制
　　　　2.2 ピンホールの抑制
　　　　2.3 プラズマを利用したパーティクル低減成膜技術の例
　３．段差被覆性の改善
　　　　3.1 被覆性を改善する様々な手法
　　　　3.2 CVDによる高アスペクト比の段差被覆：ALD法

IV．密着力を良くしたい
　１．薄膜の密着力とは：剥離対策に必要な基礎知識
　２．スクラッチ試験による密着力測定と材料設計への活かし方
　３．密着力改善への具体的な取り組み方：剥離の観察の仕方と剥離対策の考え方
　　　　3.1 剥離を起こしている材料的要因を簡単に絞り込む方法
　　　　3.2 剥離の形態とそこから読み取れる密着不良をおこした要因
　　　　3.3 密着性改善の考え方と具体的な対策

Ⅴ．まとめ