原子間力顕微鏡（AFM）の基礎と高精度化・測定解析ノウハウ

セミナー趣旨

  AFM（原子間力顕微鏡）を所有しているものの使いこなせない、データ解析が難しい、フォースカーブが理解しにくい、カンチレバーの選び方が分からない、サンプル作製時の注意点を知りたい、あるいはAFMの導入を検討しているが判断が難しい――このような悩みを抱えるユーザーが増えています。
  AFMは「ナノテクノロジーの目」とも称され、SEMと並んで一般化が進んでいます。小型で比較的安価なため、企業の基礎開発部門への導入も拡大しています。
  しかし、適切で効果的なAFM測定を行うには、基本原理・測定方法・解析方法といった基礎を習得する必要があります。測定がうまくいかない場合には原因が特定できず、活用範囲が形状観察のみにとどまってしまうケースも多く見受けられます。
  AFM利用で最も重要な点は、探針先端による力測定の「高精度化」です。精度が低いと、最終的な表面形状・寸法・弾性率など、すべての解析結果に誤差として反映されてしまいます。本セミナーでは、この力測定の高精度化に重点を置いて解説します。
　本セミナーは「入門編」「基礎編」「実用編」で構成され、豊富なデータとともに、段階的に理解を深められる内容となっています。
　・入門編：AFMの基本動作や装置構成を中心に、初めてAFMに取り組む方や導入を検討されている方の理解を深める内容です。
　・基礎編：AFM動作の最適化や高精度化のための調整方法について解説し、既にAFMを使用されている方に適しています。
　・実用編：さまざまな対象の測定事例を紹介し、測定結果の考察や解析方法を詳しく説明します。データ解析の精度と深みが増し、業務におけるAFM活用の幅が広がります。
  講師の長年の経験に基づき、AFMを導入・運用するユーザーの視点から、重要な技術ポイントを分かりやすく整理して解説します。また、AFMに関する日常的なトラブル対応や技術開発に関する相談にも応じます。
  多くの測定例を交えながら、ユーザー視点でのAFM活用方法について実践的に理解していただける内容となっています。

受講対象・レベル

・AFMによる材料分析業務に携わっている方
・AFMを初めて利用する方
・AFMの新規導入を検討されている方
・AFMの幅広い分野で活用したいとお考えの方
・AFMの性能をさらに有効活用したい方
・AFMを学ぶ学生の方　など

習得できる知識

・AFMの基礎・基本原理
・AFMを使用する上での実践的ノウハウ
・AFMを用いた材料評価および表面科学の手法
・AFMに関するトラブル対策
・AFMの応用事例　など 

セミナープログラム

【入門編】
１．AFMの原理・基礎（AFMを始めるために）
　1-1 誕生の背景
　1-2 長所と短所
　1-3 基本システム構成
　1-4 基本動作モード
　1-5 原子間力
　1-6 原子／分子像
　1-7 フォースカーブ
　1-8 表面像に生じるエラー
　1-9 寸法校正
【基礎編】
２．AFM動作の最適化とトラブル対策（これだけは理解しておきたい）
　2-1 設置環境とノイズ
　2-2 測定サンプルの作成
　2-3 カンチレバー探針
　2-4 追従性とノイズ
　2-5 湿度依存性
　2-6 感度校正
　2-7 熱ドリフト
　2-8 表面粗さ
　2-9 液中測定
【実用編】
３．AFMの適用事例と測定ノウハウ（より深い解析のために）
　（素材・材料）
　3-1 薄膜・ナノ薄膜
　3-2 微粒子・ナノ粒子
　3-3 レジストパターン
　3-4 液滴・バブル
　（表面制御）
　3-5 シランカップリング処理（疎水化）
　3-6 プラズマ処理（親水化）
　3-7 表面官能基（CFM）
　3-8 帯電と除電性
　（物性測定）
　3-9 表面エネルギー
　3-10 Hamaker定数
　3-11 弾性率／粘弾性
　3-12 摩擦係数
　3-13 付着力（DPAT法）
　3-14 DLVO理論
　（加工技術）
　3-15 スクラッチング
　3-16 マニピュレーション
　3-17 陽極酸化法
４．質疑応答
　　日頃の技術開発やトラブルに関する個別相談にも対応します。
５．付録資料
　　表面エネルギーによる濡れ・付着性解析

＊途中、小休憩を挟みます。

セミナー講師

 国立大学法人 長岡技術科学大学 名誉教授
 アドヒージョン株式会社 代表取締役社長 博士（工学）   河合 晃 氏

＊アドヒージョン株式会社 HP　http://www.adhesion.co.jp
■ご略歴
三菱電機（株）ULSI研究所にて10年間勤務し、半導体デバイスの高精度なコーティング、計測技術、微細加工、および表面処理技術開発に従事した。
その後、長岡技術科学大学にて勤務し、高精度コーティング、AFM等の分析技術、レジスト技術、
エッチング技術、表面界面制御、ナノデバイスなどの先端分野の研究を実施している。
各種論文査読委員、NEDO技術委員、国および公的プロジェクト審査員などを歴任。
現在、長岡技術科学大学　名誉教授、ならびに、技術コンサルティング会社として、アドヒージョン（株）代表取締役社長を務める。
著書40件、原著論文166報、国際学会124件、国内学会212件、特許多数、受賞多数、
講演会270回以上、日本接着学会評議員、応用物理学会会員、産学連携・技術コンサルティング実績350件以上。

セミナー受講料

【オンライン受講（見逃し視聴なし）】：1名 45,100円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき34,100円

【オンライン受講（見逃し視聴あり）】：1名 50,600円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき39,600円
＊「見逃し視聴あり」でお申込の場合、当日のご参加が難しい方も後日セミナー動画の視聴が可能です。

＊学校法人割引：学生、教員のご参加は受講料50％割引。

主催者

開催場所

受講について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 受講にあたってこちらをご確認の上、お申し込みください。
• Zoomを使用したオンラインセミナーです
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• 申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です
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