DLC膜 の ISO規格と構造分析技術の最新動向

DLC膜の製膜法、分析・評価からISO規格を活かしたビジネスプランの構築まで詳解！

セミナーポイント

いわゆるダイアモンドライクカーボン（DLC）膜と呼ばれる非晶質系のカーボン薄膜やその関連材料は、一般的に優れた耐久性や安価な生産性などによって、多様な産業において用いられ、昨今の技術革新の根幹を担っているが、DLC膜においてはその非晶質という構造的特質から基本的な膜構造の定義・区分が難しいという問題があり、新規参入者には適したDLC膜の選定が容易ではない。この問題を解決するために日本の研究者が開始した国際標準規格制定の試みが、ISO/TC107において次々と発行に結び付いている。本関連材料の学術・産業における歴史的背景から、昨今の規格標準化にいたる背景、その現状と動向を解説し、その取組みの中で明らかになった製膜法と構造・物性の関係、採用された構造分析手法の原理と具体的な測定方法について紹介し、ISO規格を活かしたビジネスプランの構築を促したい。

■この講座を受講して得られる情報・知見：
○DLC膜のISO規格制定について
　・the 29th ISO plenary meeting of ISO/TC107（2017.1.17-20）で討議された内容
・経済産業省「国際標準化事業」とニューダイヤモンドフォーラムの動き
○DLC膜の製膜法について
　・代表的なDLC製膜法
　・CVD−DLC膜とPVD−DLC膜の構造分布
○DLC膜の構造分析について
　・水素量、sp2/(sp2+sp3)比の各種測定法の長所と短所
　・RBS/ERDA法の測定と留意点
　・NEXAFS法の測定と留意点
　・簡便法による分析

セミナー内容

１　DLC膜のISO規格
　1.1　はじめに　−なぜDLC膜のISO規格が必要か
　1.2　DLC膜標準化プロジェクトの経緯
　1.3　Action2006（ラウンドロビンテスト）の結果
　1.4　ISO規格の進捗状況
　　　（1）DLC膜の摩擦摩耗試験　
　　　（2）DLC膜の分類
　　　（3）次に狙うISO規格

２　DLC膜の製膜法と膜分類
　2.1　DLC膜の製膜法について
　2.2　代表的なCVD製膜法
　2.3　代表的なPVD製膜法
　2.4　CVD−DLC膜とPVD−DLC膜の構造分布

３　DLC膜の構造分析と評価
　3.1　DLC膜の構造
　3.2　DLC膜中の水素含有率の定量
　　　（1）RBS/ERDA法の原理と装置
　　　 (2) RBS/ERDA法による水素含有率の定量
　3.3　DLC膜中のsp2/(sp2+sp3)比の決定
　　　 (1) NEXAFS法の原理と装置
　　　 (2) NEXAFS法によるsp2/(sp2+sp3)比の決定
　3.4　簡便法によるDLC膜の構造分析
　3.5　ヘテロ元素含有DLC膜の構造分析

＜質疑応答＞