原子間力顕微鏡(ＡＦＭ)の基礎と有効活用ノウハウ ～動作原理、適切な使用法と分析・評価ノウハウ～＜Zoomによるオンラインセミナー＞

セミナー趣旨

　「ナノテクノロジーの目」とも言われているAFM（原子間力顕微鏡）は、SEMなどと同様に一般化しつつあり、また小型で安価なことから企業の基礎開発部門に多く導入されるようになってきました。AFMを用いれば、試料表面の諸性質（硬さ、導電性、帯電性、加工、相互作用力、付着性など）、微粒子やレジストパターンなどの微小固体の諸性質（付着性、マニピュレーション、帯電性）、特殊測定（液滴形状、ナノバブル観察）など、幅広い解析が効果的に行えます。
　しかしながら、実際に適切で効果的なAFM測定を行うには、基本原理や測定方法、そして解析方法などの基礎を習得する必要があり、測定がうまくいかない場合にその原因が分からなかったり、活用範囲も形状観察程度の利用に留まっているケースが多く見受けられます。
　本セミナーでは、汎用性の高い大気中および液中測定用のAFMを中心に豊富なデータに基づき解説します。これからAFMの導入を検討される方、初めてAFMを操作される方にも分かりやすく装置の基本原理や操作方法、データの取得や解析方法についてまで解説します。
　また、日頃のトラブル対策や技術開発相談にも対応します。

受講対象・レベル

• AFMによる材料測定業務に携わっている方
• AFMを初めて利用する方
• AFMの導入を検討されている方
• AFMの幅広い分野での利用を希望される方
• AFMの性能をさらに有効活用したいとお考えの方

など

習得できる知識

• AFMの基礎と基本原理
• AFMを使用する上でのノウハウ
• AFMを用いた材料および表面科学の手法

など

セミナープログラム

（基礎編）
「ＡＦＭの適切な利用法
　〜原理・基礎知識から測定・解析上の留意点まで〜」

• AFMでできること・できないこと
  　〜電子顕微鏡ではわからなくてもAFMでわかること〜
• AFMの基礎・原理
  　〜AFMの基本構成・動作モード等〜
• 表面像の取得方法
  　〜得られた像は、実像なのか？〜
• 原子分解能の機構
  　〜表面粗さ計と何が違うのか〜
• ナノスケールの寸法校正
  　〜原子配列の観察〜
• カンチレバーと探針の特徴
  　〜どのようにして選ぶのか〜
• 探針のメンテナンス方法
  　〜汚染と摩耗〜
• 原子間の相互作用力とは
  　〜ポテンシャル曲線〜
• 表面の吸着水の影響
  　〜相互作用力の湿度依存性〜
• フォースカーブの理解
  　〜針と試料表面との接触〜
• 探針の接触面積の影響
  　〜付着力の押込み深さ依存性〜
• サンプルの表面粗さ依存性
  　〜探針の吸着力と摩擦力〜
• サンプルの非接触変形
  　〜相互作用力による自発変形〜
• AFM測定の誤差要因
  　〜精度の高い測定のために〜
• 液中での測定方法
  　〜簡単なバージョンアップ〜
• 適切なAFMの選定方法
  　〜用途に合ったオプション設定とは〜

（応用編）
「ＡＦＭの有効な活用法
　〜様々な活用展開と分析・評価ノウハウ〜」

• 表面エネルギーの測定
  　〜表面処理との相関〜
• 表面吸着性の解析
  　〜表面の経時変化〜
• 吸着センサへの応用
  　〜吸着膜による応力検出〜
• 薄膜及び微細パターンの付着性解析
  　〜ＤＰＡＴ法〜
• 微細パターンの繰り返し疲労特性
  　〜ＤＰＡＴ法〜
• 探針共振法による固体はく離
  　〜ＤＰＡＴ法〜
• 未知の表面間の付着力推定
  　〜二乗平均則〜
• 微粒子の付着性／除去特性
  　〜クリーンネス・印刷〜
• ナノペーストの凝集性
  　〜焼成時の粒成長〜
• 微粒子の核成長と平坦性
  　〜核生成理論〜
• 薄膜の結晶成長
  　〜他の薄膜との相互作用〜
• 固体表面の粘弾性測定
  　〜柔らかいものの測定法〜
• 固体表面の動的粘弾性測定
  　〜動的粘性と変位応答性の解析〜
• 微小固体のヤング率測定
  　〜微細パターンの構造解析〜
• 固体表面の硬さ測定
  　〜薄膜の硬さや摩擦特性、表面硬化層の解析〜
• 固体表面の帯電制御
  　〜帯電分布と除電性〜
• 微小液滴およびナノバブル観察
  　〜識別方法〜
• 微小固体のナノマニピュレーション
  　〜移動・加工と凝集性解析〜

　　（質疑応答）

・日頃の技術開発・トラブルの個別相談に応じます。

セミナー講師

国立大学法人 長岡技術科学大学大学院 電気電子情報工学専攻 電子デバイス・フォトニクス工学講座 教授
（研究成果活用企業）アドヒージョン（株）　代表取締役兼務 　博士（工学） 河合 晃 先生

セミナー受講料

【オンライン(ライブ配信)（見逃し視聴なし）】1名47,300円(税込（消費税10％）、資料付)
　＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

【オンライン(ライブ配信)（見逃し視聴あり）】1名52,800円(税込（消費税10％）、資料付)
　＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき41,800円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）。
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
• 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
  無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

下記ご確認の上、お申込み下さい

• PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております（20Mbbs以上の回線をご用意下さい）。
  各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。
• 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。

Zoomを使用したオンラインセミナーとなります

• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
  お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
  → 確認はこちら
  ※Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
• 視聴可能期間は配信開始から1週間です。
  セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
  尚、閲覧用のURLはメールにてご連絡致します。
  ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  （見逃し視聴有り）の方の受講料は（見逃し視聴無し）の受講料に準じますので、ご了承下さい。
  →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」