【中止】スパッタリングの基礎から品質向上のポイント、トラブル対策・最新トピックス ～パルス電源・マグネトロン／カソード技術から、反応性スパッタなどの高速成膜技術まで～＜東京会場開催＞

セミナー趣旨

  スパッタリングは、再現性がよく、大面積にも均一に成膜でき、低温においても密着性良く、成膜プロセスとして大きな広がりを見せている技術です。化合物膜中でも酸化物や窒化物の透明膜においては応用製品が多く、高速成膜によるコストダウンが大きなインパクトを与えています。高速成膜制御技術と低ダメージカソード技術の組み合わせにより、プラスチック基板を用いた軽くて薄いフレキシブル基板への成膜が容易にできるようになりました。
  これらの技術的な解説に加えて、セミナーでは、コンサルタントの経験を元に、生産現場で直面している様々な製品、品質のトラブルや開発現場での課題等についても直接的に役立つような対策や改善案を見つけることができるように、関連したスパッタの基礎的事項についても分かりやすく解説します。

受講対象・レベル

  スパッタリングを学びたい方、スパッタ生産技術者、スパッタ関連製品開発技術者、またこれらに興味のある方

必要な予備知識

・高校卒業レベルの、化学、物理の知識
・真空に関わる基礎知識

習得できる知識

・スパッタリングに関する基礎知識
・反応性スパッタ
・高速成膜の基礎及び制御方法
・ロータリーカソードの構造、原理
・スパッタリング成膜でのトラブル対処
・製造現場の品質向上対策
   など

セミナープログラム

１．スパッタリングの特徴
　・表面処理と成膜法
　・スパッタリングの原理
　・蒸着膜とスパッタ膜の違い
　・ロールコーターとインラインコーター
２．パルス電源
　・アーキングの原理
　・パルスの種類
　・パルスと膜構造
　・HIPIMS電源
３．マグネトロン技術
　・アンバランスドマグネトロン
　・磁力線分布
　・対称磁場と非対称磁場
４．カソード技術
　・ロータリーカソード
　・デュアルカソード
　・AC放電
　・磁場リンク
　・低ダメージカソード
５．高速成膜技術
　・反応性スパッタ
　・ヒステリシス曲線
　・遷移領域制御
　・プラズマエミッション制御
６．応用編
　6.1　スパッタ膜応用製品例
　6.2　スパッタリング膜の品質向上策・トラブルシューティング
　　・ターゲットの利用率を上げるには？
　　・アーキング（異常放電）を減らすには？
　　・密着性を上げるには？
　　・内部応力のメカニズムと低減策
　　・緻密な膜を作るには？
　　・均一な膜を作るための制御手法
　　・コストを下げるには？
　　   など
７．質問コーナー
　   できるだけ時間をとって、現状困っていることや現象でわからないことなどがありましたら、
      丁寧に解説するようにしたいと思います。
　・現場で直面しているトラブルでの質問
　・著書「現場のスパッタリング薄膜Q&A」の内容への質問
　   など、自由に質問してください。事前に連絡頂いても結構です。

※途中、お昼休みと小休憩を挟みます。

セミナー講師

 小島 啓安 先生   有限会社アーステック 代表取締役／名古屋大学 客員教授　

■ご略歴
キヤノン株式会社にて、半導体露光装置の光学膜開発を５年ほど従事、
その後旭硝子株式会社にて、自動車用、建築用、電子基板用のスパッタによる薄膜開発を行う。
２００３年に有限会社アーステック設立し、薄膜コンサルタントを開始。
２０１２年に名古屋大学にて学位取得、同年より名古屋大学客員教授を務める。
２０１３年には中国科学院上海セラミックス研究所の兼任教授（３年間）となる。
■ご専門および得意な分野・研究
真空薄膜、スパッタリング＆プラズマプロセス開発、バリア膜、光学薄膜、透明導電膜、光触媒膜、
熱線反射膜などのソーラーコントロール膜、硬質膜など
■本テーマ関連学協会でのご活動
・真空学会：スパッタ＆プラズマプロセス部会
・表面技術協会：編集委員

セミナー受講料

1名47,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円
＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

• 感染拡大防止対策にご協力下さい。
• セミナー会場での現金支払いを休止しております。
• 新型コロナウイルスの感染防止の一環として当面の間、昼食の提供サービスは中止させて頂きます。
• 配布資料は、当日セミナー会場でのお渡しとなります。
• 希望者は講師との名刺交換が可能です。
• 録音・録画行為は固くお断り致します。
• 講義中の携帯電話の使用はご遠慮下さい。
• 講義中のパソコン使用は、講義の支障や他の方の迷惑となる場合がありますので、極力お控え下さい。
  場合により、使用をお断りすることがございますので、予めご了承下さい。(＊PC実習講座を除きます。)