固体表面の分析（XPS,AES,TOF-SIMS）と実践ノウハウ

セミナー趣旨

表面・界面は、あらゆる固体材料・デバイスにおいて、機械的接合、電気的接合、変色、防食をはじめとする様々な機能に関与している。特にXPS、AES、TOF-SIMSの３種の表面分析は、固体表面数nm（数十原子層、分子層）の組成と状態を調べることができ、最表面および界面を詳しく調べることができる手法であるが、試料の取り扱いやデータの解釈に不用意な取り扱いができない。
本講座では実践的な表面分析のノウハウを述べるとともに、現代の重要な材料の分析事例を通じて、表面分析の利用のコツや考え方を明らかにする。

習得できる知識

・表面分析（XPS、AES、TOF-SIMS）の原理と基礎知識
・表面分析（XPS、AES、TOF-SIMS）の特徴と使い分け
・表面分析（XPS、AES、TOF-SIMS）の使い方
・表面分析結果解釈の実例

セミナープログラム

１．固体表面分析（XPS,AES,TOF-SIMS）の基礎
　1.1 表面数原子・数分子層の重要性
　1.2 なぜ極表面の分析や極薄膜の分析が可能になるのか?
　1.3 表面分析法の比較
　1.4 他の分析手法と比較した特徴

２．表面分析をはじめる前に
　2.1 試料の観察
　2.2 表面分析のための試料の取り扱い
　2.3 分析時の表面汚染を避けるテクニック

３．XPS分析
　3.1 XPS分析の原理
　3.2 XPS分析の特徴
　3.3 チャージアップへの対応
　3.4 ワイドスペクトル、元素の同定
　3.5 ナロースペクトル、定量と化学状態分析
　3.6 深さ方向分析
　3.7 GCIB（ガスクラスターイオン）による深さ方向分析

４．AES分析
　4.1 AES分析の原理
　4.2 AES分析の特徴
　4.3 チャージアップへの対応
　4.4 スペクトル測定、元素の同定
　4.5 マップ測定
　4.6 深さ方向分析
　4.7 多変量解析（TFA）

５．TOF-SIMS分析
　5.1 TOF-SIMS分析の原理
　5.2 TOF-SIMS分析の特徴
　5.3 チャージアップへの対応
　5.4 スペクトル測定、イオンの同定
　5.5 マップ測定、異物の観察
　5.6 多変量解析（MCR）
　5.7 深さ方向分析、SIMSの使い分けと注意点

６．分析条件と適切なデータ処理の実例
　6.1 電池負極の分析例
　6.2 半導体表面誘電体膜の分析例
　6.3 有機高分子材料中の添加剤分布分析例
　6.4 粉体薬剤表面の分析例

【質疑応答】

セミナー講師

アルバック・ファイ(株)　眞田 則明 氏

セミナー受講料

1名につき49，500円（消費税込・資料付き）
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき44，000円（税込）〕

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