超小型の湿気・微小水滴モニタリング法　モイスチャーセンサによる微小水滴の高度検出・識別技術

講師

国立研究開発法人物質・材料研究機構 主席研究員 博士（工学） 川喜多 仁 氏 

【専門】電気化学、材料化学
　1997年慶應義塾大学理工学部助手。2000年科学技術庁金属材料技術研究所（現：物質・材料研究機構）研究員。2004～2005年文部科学省在外派遣研究員（ドイツ・マックスプランク研究所）。2009年文部科学省科学技術・学術政策研究所客員研究員。2016年より現職。最近の研究内容は電気化学に基づくインターコネクト材料の開発と応用。

受講料

43,200円 ( S&T会員受講料 41,040円 )
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趣旨

　モイスチャー（湿気）に含まれる微小な水滴はその大きさにより肌への浸透のしやすさが異なったり、モイスチャーに由来する結露も、水滴の大きさにより、ガラスの曇りやカビの発生が異なるとされている。このような現象の制御や対策のためには、微小な水滴を検出し、その大きさを判別する必要があるが、既存の湿度計や結露検出器では、原理的に難しい。当機構が開発しているモイスチャーセンサを用いることで、この検出と判別を高感度・高精度・小型・高速に可能にできる。本講演では、モイスチャーセンサの測定原理、半導体加工技術を用いたチップ作製、計測システムの構築例、実測例とアプリケーション例、センサの提供（利用）方法について、解説する。

プログラム

１．モイスチャー（湿気）と微小水滴
　1.1 モイスチャーに関するセンサ市場
　1.2 モイスチャーに含まれる水滴の大きさの影響
　1.3 モイスチャーより生じる水滴の大きさの影響

２．既存のモイスチャー計測技術の比較
　2.1 湿度計・湿度センサ
　2.2 結露検出器
　2.3 大気腐食モニタリングセンサ
　2.4 露点計
　2.5 粒度分布計
　2.6 その他

３．モイスチャーセンサ
　3.1 測定原理
　3.2 センサーチップの作製方法
　3.3 センサーシステムのセットアップ例
　3.4 微小水滴の検出
　3.5 微小水滴の大きさ判別
　3.6 検出感度と判別精度
　3.7 応答速度
　3.8 結露と露点
　3.9 アプリケーション例
　3.10 センサーの提供（利用）

 □質疑応答・名刺交換□