静電気の必須基礎知識と各種製造プロセスにおける除電技術

セミナー趣旨

　半導体・液晶製造、医薬品製造、フィルム製造等のクリーンルームにおいて、 静電気帯電による塵埃の吸着や静電気放電による電気回路パターンの損傷等の静電気障害が製品不良を引起し、大きな問題になっている。
　本講演では、理解を深めるため、まず静電気の基礎について説明する。次に半導体・液晶製造、医薬品製造、フィルム製造等のクリーンルームにおける静電気障害について説明し、その対策として、イオナイザーについて、イオナイザーの除電原理、イオナイザーの種類と特徴、イオナイザーの具体的な選定方法と使用上の注意点、イオナイザーの除電性能評価方法を説明する。また、イオナイザーをクリーンルームで使用する上での問題点と最新のクリーンルーム用イオナイザーについて述べる。更に、イオナイザーを使用しない接地による静電気対策についても平易に詳細に説明する。本講演では、聴講者が、静電気の基礎から静電気対策全般までの広範囲な知識（初心者から中級者までのレベル）を習得できるように、平易に詳細に説明する。
　また、イオナイザーは、用途によっていろいろなタイプのものが多数市販されている。除電対象に合わせて適切なイオナイザーを選定することは、除電効果を決める重要なポイントである。それ故、本講演では、聴講者が、イオナイザーの適切な選定方法や使用方法を習得できるように配慮して説明する。更に、イオナイザーを使用しない接地による静電気対策についても、聴講者が実際に静電気対策を実施できるように配慮して説明する。

受講対象・レベル

　半導体・液晶製造関連、フィルム製造関連、タッチパネル製造関連、プリンテッドエレクトロニクス関連、プラスチック成型関連、医薬品製造関連の技術者・研究者および製造責任者、品質管理担当者の方など（初心者から中級者まで）。

セミナープログラム

１．はじめに

２．静電気の基礎
　2.1 動電気と静電気 
　2.2 物質は電気エネルギーを持つ 
　2.3 静電気はこうして現れる
　　　（1）静電気発生
　　　（2）静電気発生機構
　　　（3）発生の原因
　　　（4）静電誘導
　　　（5）帯電列

３．半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気障害
　3.1 静電気帯電の実態
　3.2 静電気障害
　　3.2.1 静電気帯電による静電気障害　浮遊微粒子汚染
　　3.2.2 静電気放電による静電気障害　静電破壊

４．半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気対策
　4.1 静電気対策の方法
　　4.1.1 接地により静電荷を散逸させる方法（防爆施設等における静電気対策）
　　　（1）帯電量、帯電性を評価するための主な物理量
　　　（2）測定装置及び測定方法
　　　（3）静電気対策と評価指標（目安）
　　　　　1）導体の帯電防止
　　　　　2）作業者の帯電防止
　　　　　3）作業床の導電化
　　　　　4）不導体の帯電防止
　　　（4）防爆施設の各工程における静電気対策
　　4.1.2 イオナイザーからの空気イオンにより静電荷を中和する方法
　4.2 イオナイザーの除電原理
　4.3 イオナイザーの種類と特徴
　4.4 イオナイザーの選定方法及び使用上の注意点
　　4.4.1 イオナイザーの選定方法
　　4.4.2 イオナイザーの使用上の注意点
　4.5 イオナイザーの除電性能の評価方法
　　4.5.1 有効除電電流による性能評価
　　4.5.2 帯電プレートモニタによる性能評価
　4.6 クリーンルーム用イオナイザー
　　4.6.1 クリーンルームにおけるイオナイザーの問題点
　　4.6.2 シースエア式低発塵イオナイザー（コロナ放電式）
　　4.6.3 イオン化気流放出型イオナイザー（軟Ｘ線照射式）
　　　（1）液晶 カセット用イオン化気流放出型イオナイザー
　　　（2）チャンバー型無発塵イオナイザー（イオンカラム）
　　　（3）静電気対策用層流吹出口（イオンキューブ）
　　4.6.4 簡易内圧防爆型無発塵イオナイザー（軟X線照射式）
　　4.6.5 静電気対策の実施例

５．おわりに

【質疑応答・名刺交換】

セミナー講師

（株）テクノ菱和 技術開発研究所 主席研究員 博士（工学） 鈴木 政典 氏
◇専門：
　クリーンルームにおける静電気対策、クリーンルーム用イオナイザー
◇略歴：
　1984年3月 名古屋大学大学院工学研究科博士前期課程化学工学専攻修了
　1984年4月（株）テクノ菱和入社、技術開発研究所へ配属　
　2002年8月 豊橋技術科学大学大学院工学研究科博士後期課程環境・生命工学専攻入学
　2005年7月 豊橋技術科学大学大学院工学研究科博士後期課程環境・生命工学専攻修了
　　「清浄環境下におけるイオナイザーによる静電気除去技術に関する研究」で博士（工学）取得。
　現在に至る。
◇活動等：
　静電気学会、応用物理学会、日本空気清浄協会、SEMI JapanやIDEMA Japan等の委員会、等で活動。

セミナー受講料

49,500円（税込、資料付）
■ セミナー主催者からの会員登録をしていただいた場合、1名で申込の場合46,200円、
　 2名同時申込の場合計49,500円（2人目無料：1名あたり24,750円）で受講できます。
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