【中止】液膜の塗布・乾燥プロセスの物理現象から膜厚ムラの形成機構と回避・抑制指針

セミナー趣旨

  微細加工プロセスや各種フィルター・保護膜等の作製工程において、液膜の塗布・乾燥プロセスが欠かせないが、その過程で種々の膜厚ムラが発生する。これらの膜厚ムラは、作製する膜の用途によっては製品の寸法精度などの品質に直結する場合があり、これらのムラを回避・抑制する方策が望まれる。
  このセミナーでは、主要な塗布方法であるスピンコート法と加熱乾燥を対象に、
(1) 基板端部に生じる隆起
(2) 基板全面に渡って生じる放射状スジムラ
に注目して、その形成メカニズムと回避・抑制指針について実験的な観察と理論・数値シミュレーションの両面から解説する。

受講対象・レベル

・各種フィルター・保護膜・微細構造等の機能性樹脂フィルムの製造工程に関わる研究開発者の方
・メカニズムの理解に基づいて、応用範囲の広い対策を検討したい方

必要な予備知識

この分野に興味のある方なら、特に予備知識は必要ない。

習得できる知識

・液膜流れに関する物理現象の特徴
・液膜の塗布・乾燥プロセスで生じる各種膜厚ムラの機構と対策方針
・実験・シミュレーション方法
   など

セミナープログラム

１．塗布乾燥プロセスの概要
　1.1　背景産業
　1.2　塗布方式／乾燥方式
　1.3　塗布乾燥プロセスで発生する各種膜厚ムラ
２．液膜内の熱流動に関する物理
　2.1　関与する物理現象の概観
　2.2　表面張力と重力
　　2.2.1　ラプラス圧
　　2.2.2　キャピラリ長
　2.3　遠心力と粘性力
　2.4　マランゴニ効果
　　2.4.1　自発的な膜厚ムラの発生
　2.5　熱伝導・物質拡散
　2.6　蒸発
　　2.6.1　蒸発と拡散の速度論
３．液膜流れの方程式
　3.1　一般的な混相流の支配方程式
　3.2　潤滑近似
　3.3　スピンコート中の膜厚変化
　3.4　液面乱れの緩和挙動
　　3.4.1　緩和挙動の時定数導出
４．各種膜厚ムラの形成過程と回避・抑制指針
　4.1　基板端部の隆起
　　4.1.1　実験的観察
　　4.1.2　形成メカニズムの理解
　　4.1.3　回避・抑制指針
　4.2　放射状スジムラ
　　4.2.1　実験的観察
　　4.2.2　形成メカニズムの理解
　　4.2.3　回避・抑制指針
５．膜厚ムラの分析方法
＜質疑応答＞

＊途中、小休憩を挟みます。

セミナー講師

 白鳥 英 先生   東京都市大学 理工学部 機械システム工学科 准教授　

セミナー受講料

【オンライン受講：見逃し視聴なし】：1名41,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円

【オンライン受講：見逃し視聴あり】：1名47,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）。
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• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
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• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
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