MEMSの基礎と応用 ―マイクロセンサ・アクチュエータが拓く世界―

MEMSについて基礎からしっかりと学べます。

講師

名古屋大学 名誉教授、愛知工業大学 客員教授　佐藤 一雄 先生

■ ご略歴：
1970　横浜国立大学工学部機械工学科卒業
  （株）日立製作所入社、金属塑性加工の研究に従事
1982　工学博士（論文博士：東京大学）
1983　マイクロ機械の研究に着手、80年代後半に出現するMEMSの基礎を作る
1994　(株)日立製作所退社
名古屋大学工学部・工学研究科教授（2012年に定年退職後、名誉教授）
2012　愛知工業大学工学部教授（2018年に定年退職後、客員教授）

■ ご専門および得意な分野・研究：
MEMS全般
MEMSデバイス製造技術（とくにSi単結晶の3次元構造製作）
MEMSデバイスの駆動技術（静電力応用）
微細な薄膜材料の機械特性評価技術
Si単結晶のアルカリ水溶液によるエッチング技術
金属材料の塑性変形

■ 本テーマ関連学協会でのご活動：
日本機械学会　名誉員、マイクロ・ナノ工学部門初代部門長、船井賞受賞（2010）
精密工学会　名誉員、精密工学会賞受賞（2017）
IEEE　会員、IEEE MEMS-97 大会委員長

受講料

1名46,440円(税込（消費税8％）、資料・昼食付)
＊1社2名以上同時申込の場合 、1名につき35,640円
＊学校法人割引 ；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

セミナーポイント

■ はじめに
　MEMSは電子・電気・機械技術を融合した分野なので、これまでの電子デバイスとは製品形態、製造技術、応用分野も異なります。MEMSを応用した分野に新規参入を検討されている企業の方々、業務遂行にあたって多岐にわたるMEMS技術の全容がつかみきれないという方々、を対象にして、以下の内容を講演します。MEMSを草分けから知る講師が、いまさら訊きづらい御質問にも個別に答えます。

■ ご講演中のキーワード：
　センサ（圧力・加速度・角速度・流速センサ）、マイクロフォン、AFM、光スキャナ、
　ディスプレイ、プリンタ、応用分野（自動車、通信端末、光学、医療、ヘルスケア）

■ 受講対象者：
・MEMSを応用した分野に新規参入を検討されている方
・多岐にわたるMEMS技術の全容がつかみきれないという方
・業務遂行にあたってMEMSに関する一般知識を得たい方
・MEMSの製造プロセスの知識を得たい方
・MEMS材料・デバイスの機械的な特性（強度評価法を含む）を知りたい方
・MEMS分野でこれまでに開発されたデバイス例にご興味のある方
・MEMSについて、いまさら訊きづらい質問がある方

■ 必要な予備知識や事前に目を通しておくと理解が深まる文献、サイトなど：
・大学の理系学部卒業程度の物理・化学の知識があれば十分
・書籍
 「センサ・マイクロマシン工学」（藤田編著・オーム社・2005/10）
　　ISBN 978-4-274-20134-9. 
 「マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術」《普及版》
　（式田、佐藤、田中監修、シーエムシー出版、2009/10）ISBN978-4-7813-1101-2.
　Silicon Wet Bulk Micromachining for MEMS, Prem Pal and Kazuo Sato,
　　Pan Stanford Publishing (2017), ISBN978-981-4613-72-9(Hard cover),
　　ISBN 978-1-315-36492-6 (e-　book).

■ 本セミナーで習得できること：
・MEMS全般の基礎知識・情報
・MEMSのビジネス動向
・シリコン単結晶・多結晶の機械的性質
・3次元微細形状を製作する手段（除去加工、付加加工、接合加工）
・シリコン加工手段の選択方法、トラブルの対処方法

セミナー内容

１．MEMSの技術と製品の歴史
　１）半導体技術に根ざす技術
　２）機械技術に根ざす技術
　３）応用分野の二極化（大量生産と少量生産）
　４）分業が進むビジネスモデル

２．MEMSの製造技術「マイクロマシニング」
　１）半導体プロセスによる一括製造と一筆書きによる微細単品製造
　２）半導体製造技術援用の強みと弱み
　３）半導体製造技術によるマイクロマシニング
　　a) フォトリソグラフィ
　　b) エッチング手段（ドライ/ウェット、等方性/異方性、KOH/TMAH）
　　c) 成膜技術（酸化、拡散、CVD、スパッタ蒸着、等）
　　d) バルクマイクロマシニングと表面マイクロマシニング
　　e) 接合・アセンブル技術

３．機械材料としての「単結晶・多結晶シリコン」「シリコン化合物薄膜」
　１）単結晶・多結晶シリコンの強度・変形能
　２）薄膜の強度評価方法（引張り試験、曲げ試験、バルジ試験）

４．微小構造物を動かすアクチュエータ
　１）多彩な駆動原理（静電力、電磁力、熱、表面張力、光圧力、など）
　２）マイクロ化で変わる駆動方法の選択

５．成功事例の特徴と応用製品分野（参加者の関心に応じて選択的に詳述する）
　１）圧力センサ（プラント、管内流速、気圧、血圧、気圧、標高）
　２）加速度センサ（自動車、スマホ、ゲーム端末、スポーツ解析）
　３）回転角速度センサ（移動体車体制御）
　４）流速センサ（管内流量、ガスの流れ方向）
　５）マイクロフォン（小型端末、分布型配置）
　６）AFMプローブ（トポロジ、磁気・光・熱応用、ナノ摩擦）
　７）光スキャナ（障害物・人の検出、レーザ顕微鏡、ディスプレイ）
　８）ディスプレイ（DLP、レーザスキャン）
　９）インクジェットヘッド（プリンタ、マイクロ流体操作）
　１０）自動車（内燃系、姿勢制御系、ディスプレイ系、障害物検出系）
　１１）光通信、光学機器（交換機、光スキャン、明暗パターン生成）
　１２）モバイル端末（マイクロフォン、加速度、圧力、風速）
　１３）医療（血圧、血液・尿・涙・呼気成分検出、ヘルスケア、介護）
　１４）バイオ、微粒子の検出・分類（特定細胞の検出・分離・診断）