大気圧プラズマ・放電技術の現状と課題

〜次世代インバータを用いたプラズマ生成からモータ絶縁まで〜

★ 大気圧近傍の高いガス圧力下におけるプラズマ・放電生成技術と、それを用いた材料表面改質・成膜技術を紹介します。
★ 応用例として，DLC成膜，大気圧プラズマ滅菌に関する取組も紹介します 。

講師

兵庫県立大学 工学研究科 電気物性工学専攻　准教授　博士（工学） 菊池 祐介 先生

【講師紹介】
2015年4月　兵庫県立大学大学院工学研究科電気物性工学専攻　准教授　現在に至る。
【専門】プラズマ理工学／大気圧放電／インバータサージ絶縁

受講料

1名41,040円(税込（消費税8％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合 、1名につき30,240円
＊学校法人割引 ；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

セミナーポイント

■はじめに
　近年，大気圧プラズマ・放電技術を用いた材料表面改質，滅菌，医療応用等の産業応用研究が盛んに行われている。本講座では，大気圧近傍の高いガス圧力下におけるプラズマ・放電生成技術とそれを用いた材料表面改質・成膜技術を紹介する。最新の半導体パワーデバイスを用いたインバータ電源の適用やそれを用いたプラズマ生成技術の発展についても紹介する。また，応用例として，ダイヤモンドライクカーボン（DLC）成膜，大気圧プラズマ滅菌に関する取組を紹介する。
　一方，インバータ電源の高性能化は「インバータサージ」と称される新しい電気絶縁分野の課題を引き起こしており，産業界から強いニーズのある研究課題である。そこで，サージ電圧で発生する部分放電特性，計測法，国際電気規格（IEC）の現状および規格に基づいたモータコイル絶縁試験法について具体例を示しながら解説する。また，耐サージ性を有するナノコンポジット技術を用いたモータ巻線についても紹介する。

■受講対象
プラズマ放電および電気絶縁の技術者、初心者

■必要な予備知識
電気工学の基礎的な知識

■本セミナーに参加して修得できること
・プラズマ・放電の基礎
・大気圧・準大気圧プラズマを用いた材料表面改質・成膜の基礎
・インバータ駆動モータコイルの絶縁評価法の修得

セミナー内容

1.プラズマ・放電研究の最近のトレンド

2.プラズマ・放電の基礎
 1）放電理論とPaschenの法則
 2）各種放電形態
 　a)部分放電
 　b)ストリーマ放電
 　c)誘電体バリア放電
 　d)グロー放電
 　e)アーク放電

3.大気圧・準大気圧プラズマの生成と計測
 1）高ガス圧下における低温プラズマ生成
 2）大気圧グロー放電プラズマ生成
 3）発光分光法を用いたプラズマ・放電計測
 4) SiCインバータ電源を用いたプラズマ生成

4.大気圧・準大気圧プラズマの産業応用
 1）ダイヤモンドライクカーボン（DLC）成膜
 　a)大気圧プラズマトーチを用いたDLC成膜
 　b)大気圧線状グロー放電プラズマを用いたDLC成膜
 　c)準大気圧マイクロ秒パルスプラズマ用いたDLC成膜
 　d)SiCインバータにより駆動される準大気圧高繰り返しナノ秒パルスプラズマ用いたDLC成膜
 2）水蒸気プラズマを用いた高速滅菌
 3）液中プラズマを用いたナノ粒子表面修飾

5.インバータ駆動モータコイルの絶縁評価法
 1）インバータサージとは
 2）モータ巻線における部分放電
 3）環境要因（温度、湿度、気圧）による部分放電特性の変化
 4) 繰り返しインパルス電圧によるサージ模擬
 5）国際電気規格（IEC）の動向
 6）実機モータコイルにおける部分放電計測
 7）ナノコンポジット技術を用いた耐サージ性電線

6.大気圧プラズマ・放電技術の展望