ダイヤモンド半導体のパワーデバイス応用

セミナー趣旨

  ダイヤモンドは、極めて高い電子及び正孔の移動度、熱伝導率、そして絶縁破壊電界を持つことから、省エネ・低炭素社会の実現に資する革新的なパワーデバイス材料として期待されています。本講演では、半導体材料としてのダイヤモンドの魅力、そしてダイヤモンド半導体研究の歴史について概説し、ダイヤモンドウェハ、ダイオード、トランジスタ応用に関する国内、海外の研究開発状況を踏まえ、課題および展望について、我々の研究成果を中心に解説します。

受講対象・レベル

・パワー半導体の初学者
・本テーマにご関心のある方

習得できる知識

・ダイヤモンドの物性
・半導体の基礎
・ダイヤモンド結晶成長技術
・ダイヤモンド加工プロセス技術
・ダイヤモンド表面・界面構造制御技術
・ダイヤモンドデバイスの最新技術動向

セミナープログラム

1．はじめに
　 　1）ダイヤモンドの魅力
　 　2）ダイヤモンドの応用
　 　3）ダイヤモンドパワー半導体の必要性
　 　4）ダイヤモンド半導体研究の歴史

2．ダイヤモンドウェハ製造技術
　 　1）成長技術
　　　　a) 高温高圧法
　　　　b) プラズマCVD法
　　　　c) 熱フィラメントCVD法
　 　2）不純物ドーピング技術
　　　　a) ホウ素
　　　　b) リン
　　　　c) 窒素
　 　3）ダイヤモンド加工技術
　　　　a) レーザーカット
　　　　b) スライス
　　　　c) 研磨
　　　　d) 平坦化

3．ダイヤモンドダイオード
　 　1）ショットキーバリアダイオード
　　 2）PN接合ダイオード
　 　3）ショットキーPNダイオード

4．ダイヤモンドトランジスタ
　 　1）BJT
　 　2）JFET
　 　3）MESFET
　 　4）MOSFET
　　　　a) 水素終端型
　　　　b) Deep depletion型
　　　　c) 反転層型

5．まとめと今後の展望

セミナー講師

 徳田 規夫 先生   金沢大学 ナノマテリアル研究所　教授（リサーチプロフェッサー）博士（工学）
 株式会社Kanazawa Diamond　取締役 /  株式会社VISION IV　技術顧問

セミナー受講料

1名41,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円
＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料は、印刷物を郵送で送付致します。
  お申込の際はお受け取り可能な住所をご記入ください。
  お申込みは4営業日前までを推奨します。
  それ以降でもお申込みはお受けしておりますが（開催1営業日前の12:00まで）、
  テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。
• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
• 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
  無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

下記ご確認の上、お申込み下さい

• PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております（20Mbbs以上の回線をご用意下さい）。
  各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。
• 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。

Zoomを使用したオンラインセミナーとなります

• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
  お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
  → 確認はこちら
  ※Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
• 視聴可能期間は配信開始から1週間です。
  セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
  尚、閲覧用のURLはメールにてご連絡致します。
  ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  （見逃し視聴有り）の方の受講料は（見逃し視聴無し）の受講料に準じますので、ご了承下さい。
  →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」