成膜技術に携わる初級〜中級の技術者の方々を対象に、
薄膜作製の基礎知識を幅広く解説

~スパッタ法、真空蒸着法、CVD法の基礎と薄膜評価・トラブル対策~

セミナー趣旨

 薄膜技術は、電子デバイス、太陽電池、建材、食品産業と、さまざまな産業分野を支える基幹技術です。現在では高性能で使いやすい薄膜作製装置が市販されており、昔よりも容易に薄膜作製が行えるようになりました。しかしながら、適切な薄膜作製のためには、薄膜技術に関する知識が必要なのは今も昔も変わりません。新規の条件で成膜を行う場合、必要な特性を有する薄膜を得るためには各種薄膜作製が膜質におよぼす影響を考慮しつつ、条件を選択する必要があります。また、薄膜作製プロセスで遭遇する種々のトラブルを解決するためには、その原因を分析し、適切に対処すること求められます。そのようなときに必要になるのが、薄膜作製技術に関する基本的かつ系統的な知識です。
 本講座では、薄膜技術に携わる初級〜中級の技術者の方々を対象に、薄膜技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。

受講対象・レベル

  • 薄膜作製に関連する研究・開発・製造業務に新規に従事する方,従事して2~3年程度の方
  • 薄膜作製に関してある程度の実務経験はあるが,自分の知識を系統的に整理したい方
  • 高等学校程度の物理、化学および数学の知識をお持ちの方

習得できる知識

  • 現場で必要とされる薄膜技術の基礎知識を習得できる
  • 薄膜技術で必要とされる真空工学、表面物性工学の知識を習得できる
  • 薄膜の形成過程、薄膜の諸特性、薄膜とバルクとの違いについての知識が得られる
  • 真空蒸着法、スパッタ法、CVD法の特徴、類似点、違い、得られる薄膜の特徴が理解できる
  • 必要な特性を有する薄膜を得るために必要なプロセス設計を行えるようになる
  • トラブル発生時、その解決に向けた指針を立てることができるようになる

セミナープログラム

  1. 薄膜技術ための基礎知識
    1. 真空工学
    2. 表面物性工学
    3. プラズマ工学
  2. 物理気相成長(PVD)法
    1. 真空蒸着法
      a.原理
      b.真空蒸着法の種類
      c.真空蒸着法の留意事項
    2. スパッタ法
      a.原理
      b.スパッタ法の種類
      c.スパッタ法で作製される薄膜の特徴
      d.スパッタ法の留意事項
  3. 化学気相成長(CVD)法
    1. 原理
    2. 化学気相成長法の種類
    3. 化学気相成長法で作製される薄膜の特徴
    4. 化学気相成長法の留意事項
  4. 薄膜評価法
    1. 形態観察
    2. 膜組成、膜構造分析
    3. 付着力、膜応力測定
    4. 電気的特性、光学的特性測定
  5. 薄膜作製プロセスで遭遇するさまざまなトラブルと解決策
    1. 膜質に関するトラブル
    2. 装置に関するトラブル

□ 質疑応答 □

セミナー講師

三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 准教授 佐藤 英樹 氏

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

49,500円( E-mail案内登録価格46,970円 )
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で 49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須/1名あたり定価半額24,750円)

【1名分無料適用条件】
※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書(PDFデータ)は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
 (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:35,200円 ( E-Mail案内登録価格 33,440円 )
※1名様でLive配信/WEBセミナーをお申込みの場合、上記キャンペーン価格が自動適用になります。
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受講について

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  • 事前に「Zoom」のインストール(または、ブラウザから参加)可能か、接続可能か等をご確認ください。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー中、講師へのご質問が可能です。
  • 以下のテストミーティングより接続とマイク/スピーカーの出力・入力を事前にご確認いただいたうえで、お申込みください。
    ≫ テストミーティングはこちら

配布資料

  • PDFテキスト(印刷可・編集不可)

※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

開催日時


10:30

受講料

49,500円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込 または、当日現金でのお支払い

開催場所

全国

主催者

キーワード

薄膜、表面、界面技術   プラズマ技術   電子デバイス・部品

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49,500円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

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キーワード

薄膜、表面、界面技術   プラズマ技術   電子デバイス・部品

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