１日速習！よくわかる、半導体洗浄の基礎と要点、困ったときの対策

セミナー趣旨

　半導体洗浄を直感で理解できることを目指して、基礎現象から困った時の視点と対策まで1日で説明します。洗浄とは何のために何をどうすることか？、「清浄・きれい」の意味は何か？を改めて考えると、意外なほど工程と現象が見えて来ます。ここでは、簡単な流れの例を動画で見て基礎現象の感覚をつかみ、湿式の枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れを可視化観察動画と計算例で解説します。超音波の効果についても動画を見るとイメージが湧いて来ます。まとめでは、足元をすくわれた時の視点と対策を簡潔に説明します。
　半導体以外の洗浄をしている技術者にも参考にして頂けます。また、化学工学の基礎と応用の視点から説明しますので、洗浄以外のプロセス技術者にも参考になります。

習得できる知識

• 先端材料の洗浄方法を組むための要素
• 目的に合わせた「清浄」の定義
• キレイにするための表面の取扱い方
• 生産プロセスに共通して潜在する化学工学（流れ・気泡などの動きと設計）

セミナープログラム

1. 洗う理由：汚れは何？いつ、どこからなぜやって来る？
2. 一般の洗浄（洗浄の４要素:温度、時間、化学、力学）
3. 半導体の洗浄に特有のこと
4. 先端技術情報（半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会）
5. 半導体洗浄の基礎現象（薬液と流れの効果）
   1. 表面の現象とプロセス（付着・脱離・引き剥がす・乾かす）
   2. 流れ、熱、拡散、反応
   3. 装置内流れの種類(完全混合、押出流れ、境界層)
   4. 流れの可視化観察（簡単な例を動画で紹介）
6. 洗浄機内の流れと反応
   1. 枚葉式洗浄機
      1. 水の流れ（観察動画と計算例）
      2. 化学反応の例
   2. バッチ式洗浄機
      1. 水の流れ(観察動画と計算例)
      2. 水流を最適化（思うように変えてみた例）
   3. 超音波の働きと水の動き（観察）
7. まとめ：困った時の視点と対策

□質疑応答□

セミナー講師

横浜国立大学 大学院理工学府 化学・生命系理工学専攻 教授　羽深 等　氏

セミナー受講料

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配布資料

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