MEMS加工技術の基礎とその最新応用展開

セミナー趣旨

　MEMSは「微小化」というキーワードを基に、従来にはない機能、そして高付加価値なシステムを実現できる学際領域の技術分野になります。本講義では、最初にMEMS技術の面白さ及び難しさを理解して頂くことを目的として、MEMS技術の歴史的発展経緯を簡単に紹介し、その後、MEMSにおける加工基盤技術及びそれのデバイス応用について説明します。具体的には、MEMS技術の産業、医用応用などについて幅広くわかり易く解説します。

セミナープログラム

第1講　MEMS加工技術の基礎とその最新応用展開

【13:30-15:30】

広島市立大学　情報科学研究科　医用情報科学専攻・教授　博士（工学）　式田 光宏　氏

【講演キーワード】
MEMS、フレキシブルセンサ、医用応用、ヒューマンインターフェイス

【講演趣旨】
MEMSは「微小化」というキーワードを基に、従来にはない機能、そして高付加価値なシステムを実現できる学際領域の技術分野になります。本講義では、最初にMEMS技術の面白さ及び難しさを理解して頂くことを目的として、MEMS技術の歴史的発展経緯を簡単に紹介し、その後、MEMSにおける加工基盤技術及びそれのデバイス応用について説明します。具体的には、MEMS技術の産業、医用応用などについて幅広くわかり易く解説します。

【プログラム】

1. MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術
   1. MEMS技術の歴史及び特徴
   2. MEMSデバイス・システム例
2. MEMS加工基盤技術
   1. ホトリソグラフィー技術
   2. エッチング・薄膜形成技術
   3. スケール効果
3. 銅張積層板を用いたMEMSフレキシブルセンサと信号処理回路との一体化構造
   1. 銅張積層板を用いたMEMSフレキシブルセンサの構造・作製及び実装プロセス
   2. フレキシブル形態でのMEMSセンサと信号処理回路の一体化
4. MEMSフレキシブルセンサの産業応用例
   1. MEMS流量センサの大規模空調システムへの応用
   2. MEMS熱式センサを用いた加速度・壁面せん断応力計測デバイスへの応用
5. MEMSフレキシブルセンサの医用応用例
   1. 肺内部でのその場計測を可能とするMEMS流量センサ（生体情報極限計測）
   2. 実験動物用埋め込みMEMSセンサデバイス（薬物投与時の副作用評価デバイス）
   3. 口元気流計測によるバイタルサイン計測（口元気流による呼吸心拍同時計測の実現）
6. MEMS技術のインターフェイスデバイス応用例
   1. フレキシブル力センサデバイス
   2. マイクロニードルを用いた次世代経皮吸収製剤応用（薬剤投与デバイス）

【質疑応答】

第2講　MEMS技術によるヘルスケア・医療機器への応用展開

【15:45-17:00】

東北大学大学院　医工学研究科　医工学専攻　ナノデバイス医工学分野 教授　(兼)　大学院工学研究科　ロボティクス専攻　芳賀　洋一　氏

【講演キーワード】
MEMS、微細加工技術、医療機器開発、内視鏡、カテーテル、センサ搭載臓器モデル

【講演主旨】
⼩さくとも⾼機能・多機能なマイクロセンサやマイクロアクチュエータなどが実現できるMEMS技術を⽤いることで、今までにない特徴や利点を持った医療⽤機器、ヘルスケア(健康管理)機器が実現できる。これにより患者の負担を減らし⾃由度が⾼く、精密で安全な検査・治療を⾏うことができるようになる。
基礎技術から医療およびヘルスケアデバイスへの⽤途、現状と今後求められる技術と期待される⽤途、課題など広範なポイントについて解説します。

【講演プログラム】

1. 医療・ヘルスケア用途の現状
   1. 小型化、高機能化、多機能化の要求
   2. 体外用途（検体検査、ヘルスケア用途 他）
   3. 体内用途（カテーテル、内視鏡、埋込機器 他）
2. 要素技術
   1. 微細加工技術
   2. 医療、ヘルスケア用途に役立つ技術
3. 現状の課題と今後の展開
   1. 技術課題
   2. 制度、仕組みの課題

【質疑応答】

セミナー講師

第１講　広島市立大学　情報科学研究科　医用情報科学専攻・教授　博士（工学）　式田 光宏　氏

第２講　東北大学大学院　医工学研究科　医工学専攻　ナノデバイス医工学分野 教授　(兼)　大学院工学研究科　ロボティクス専攻　芳賀　洋一　氏

セミナー受講料

【1名の場合】44,000円(税込、資料作成費用を含む)
2名以上は一人につき、11,000円が加算されます。