【中止】ダイヤモンド大口径ウエハとパワー半導体デバイスの研究開発の最近の進展

セミナー趣旨

　「ダイヤモンド半導体」が、次世代パワー半導体として注目を浴びています。
　これまでは、ミリメートルサイズの人工の単結晶と実験室レベルのデバイスしかできませんでしたが、最近、著者らの研究によって、1インチの大口径のウエハと、実用レベルのパワー半導体デバイスが作製できるようになりました。
　本セミナーでは、基礎から最近の研究開発の成果内容まで、平易に解説します。
　具体的には、パワー半導体デバイスの基礎原理、ダイヤモンドの物性、ダイヤモンドの結晶成長技術、その原理、最近開発した大口径ウエハの成長技術、ダイヤモンドのパワー半導体デバイスの作製方法、動作原理、現在のデバイス特性、さらに、これらの技術の問題点と今後の課題を解説します。受講者からの質問にも、やさしく答えながら進めていきます。

受講対象・レベル

ダイヤモンド、パワー半導体デバイスにご興味のある方はどなたでも。

必要な予備知識

文科系の方、初心者でもわかるように、基礎から説明しますので、予備知識は必要ありません。

習得できる知識

・パワー半導体デバイスの動作原理が理解できる。
・ダイヤモンドの物理的な性質が理解できる。
・ダイヤモンド半導体のパワーデバイスが、従来の半導体のものより優れている理由が理解できる。
・ダイヤモンドの結晶成長やデバイス技術の基礎が理解できる。
・ダイヤモンドの大口径ウエハや半導体デバイスの作製技術が理解できる。
・ダイヤモンドの今後の課題と可能性が理解できる。

セミナープログラム

１．なぜダイヤモンド半導体デバイスか パワー半導体デバイスの現状

２．ダイヤモンドの物性
　2-1　結晶構造
　2-2　電気物性

３．ダイヤモンドの結晶成長技術
　3-1　従来の技術　高温高圧法、CVD法
　3-2　大口径ダイヤモンド成長技術 ヘテロエピタキシャル成長
　3-3　まとめ、今後の課題

４．ダイヤモンド半導体デバイス技術
　4-1　従来の技術
　4-2　ダイヤモンドパワー半導体作製技術
　4-3　ダイヤモンドパワー半導体のDC特性
　4-4　ダイヤモンドパワー半導体のパワー特性

５．ダイヤモンド半導体の課題と今後の展望

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セミナー講師

佐賀大学 大学院理工学研究科 教授 博士(工学)　嘉数 誠 氏

セミナー受講料

49,500円（税込、資料付）
■ セミナー主催者からの会員登録をしていただいた場合、1名で申込の場合46,200円、
　 2名同時申込の場合計49,500円（2人目無料：1名あたり24,750円）で受講できます。
（セミナーのお申し込みと同時に会員登録をさせていただきますので、
　  今回の受講料から会員価格を適用いたします。）
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　 すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。
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受講について

Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順

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