(光干渉法による)微細三次元表面形状・膜厚分布測定の最新技術と測定ノウハウ

セミナープログラム

1. 微細３次元表面形状計測入門
   1. 各種測定法の概要
      1. 触針式
      2. 光触針式
      3. SPM（AFM）
      4. 光切断式
      5. 共焦点顕微鏡
      6. 光干渉式
   2. 各種測定法の性能比較
2. 光干渉式表面形状測定法
   1. 各種干渉光学系
   2. 垂直走査法（白色干渉法）の原理と測定例
   3. 位相シフト法の原理と測定例
   4. 応用機器
3. 光干渉式表面形状測定装置の使い方とノウハウ
   1. 段差と急斜面
   2. 狭視野と広視野
   3. 超高精度（サブナノメートル精度）
   4. 高速測定
   5. 透明膜に覆われた表面形状
   6. 校正法
   7. 装置組み込み
4. 光干渉式表面形状測定装置による透明膜の測定
   1. 各種膜厚測定技術
   2. 光干渉法による表面・裏面・膜厚同時測定の原理
   3. 透明厚膜の測定法
   4. 透明薄膜の測定法
   5. プラスチック・フィルムの測定
   6. 屈折率の測定
   7. 膜厚と屈折率の同時測定
5. 三次元データ処理
   1. 三次元表示ソフト
   2. 欠測値補間とノイズ除去
   3. 平面補正と曲面補正
   4. 粗さパラメータ
   5. 形状計測（高さ、面積、体積など）
   6. ステッチング（画像連結）
6. 光干渉測定の最新技術
   1. ワンショット干渉測定
   2. 3波長干渉測定
   3. 干渉色解析による膜厚・形状測定
   4. 波長走査・波長シフト法による透明板の形状・板厚同時測定

【質疑応答】

セミナー講師

技術コンサルタント　北川 克一 氏

セミナー受講料

1名につき77,000円（税込・資料付）
〔1社2名以上同時申込の場合のみ1名につき71,500円〕

受講について

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