洗浄の基礎、半導体洗浄のトラブル発生メカニズムとその対策

セミナー趣旨

「洗う」ということの基礎現象に始まり、実務的な薬液と洗浄機構造を理解し、更には困った時に考えるべき要点を説明します。製品の仕上げ方は、洗浄した後に使う目的により変わりますので、それを前提にした上で、洗浄の薬液と洗浄装置の役割、働き、を説明します。単純な槽の中の水流の可視化実験を動画で紹介しますので、それを見て流れを想像するコツを学び、つぎに、実際の枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れ動画、超音波を使っている時の気泡挙動をとらえた貴重な動画を基に、洗浄している時の流れの様子を理解すると共に、流れを改善する時の要点を把握します。最後に、洗えない時の対策を簡潔に説明します。半導体以外の洗浄技術者にも参考になるはずです。

受講対象・レベル

以下の研究者・技術者を対象とします。

• これから半導体洗浄に関わる予定がある。
• 新製品の洗浄技術を開発している。
• 既存製品の洗浄工程の改善を検討している。
• 時々生じるトラブルの原因を体系的に考えたい。

習得できる知識

• 洗浄技術・工程・装置の組み立て方
• 使える表面を作るための薬液の働きと選び方
• 「清浄」の概念は目的により異なること
• 流れが大切であること、
• 生産プロセスに関わる流れの概念

セミナープログラム

1. 汚れの種類、由来と仕上げ
2. 洗浄の４要素:温度、時間、化学、力学
3. 半導体洗浄に特有の事項
4. 半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会
5. 半導体洗浄の基礎現象
   1. 薬液の種類と働き（付着・脱離・引き剥がす）
   2. 化学工学の基礎現象（流れ、熱、拡散、反応）
   3. 装置内流れの分類と特徴
   4. 流れの可視化観察（動画）
6. 洗浄機内の流れと反応
   1. 枚葉式洗浄機（流れ動画と数値計算）
      1. 水流観察と計算
      2. 化学反応の数値解析例
   2. バッチ式洗浄機（流れ動画と数値計算）
      1. 水流観察動画と計算
      2. 水流を変える方法（実例）
   3. 超音波と水流（観察動画）
7. おわりに：トラブル対策の要点

【質疑応答】

セミナー講師

横浜国立大学　大学院　工学研究院　教授　博士(工学)　羽深 等 氏

セミナー受講料

1名につき55,000円（税込・資料付）
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円（税込）〕

受講について

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