【中止】MEMS加工技術の基礎とその最新応用展開【Live配信・WEBセミナー】

セミナー趣旨

　MEMSは「微小化」というキーワードを基に、従来にはない機能、そして高付加価値なシステムを実現できる学際領域の技術分野になります。本講義では、最初にMEMS技術の面白さ及び難しさを理解して頂くことを目的として、MEMS技術の歴史的発展経緯を簡単に紹介し、その後、MEMSにおける加工基盤技術及びそれのデバイス応用について説明します。具体的には、ヒューマンインターフェイス、生体医用デバイス応用などについて幅広くわかり易く解説します。 

セミナープログラム

1. MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術
   1. 概要
   2. MEMS技術の歴史及び特徴
   3. MEMSデバイス・システム例
2. MEMS加工基盤技術
   1. Si材とホトリソグラフィー技術
   2. ウエットエッチング技術
   3. ドライエッチング技術
   4. 薄膜形成技術
   5. スケール効果
3. 銅張積層板を用いたMEMSフレキシブルセンサと信号処理回路との一体化構造
   1. 銅張積層板を用いた熱式MEMSフレキシブルセンサの構造・作製及び実装プロセス
   2. フレキシブル形態でのMEMSセンサと信号処理回路の一体化
   3. 銅張積層板を用いたMEMSフレキシブルセンサの呼吸計測応用例
4. MEMSフレキシブルセンサの医用応用例
   1. 肺内部でのその場計測を可能とするMEMS流量センサ（生体情報極限計測）
   2. 実験動物用埋め込みMEMSセンサデバイス（薬物投与時の副作用評価デバイス）
   3. 口元気流計測によるバイタルサイン計測（口元気流による呼吸心拍同時計測の実現）
5. MEMSフレキシブルセンサの産業応用例
   1. MEMS流量センサの大規模空調システムへの応用
   2. MEMS熱式センサを用いた加速度・壁面せん断応力計測デバイスへの応用
6. MEMS技術によるヒューマンインターフェイスデバイス開発例（力センサデバイス）
   1. 硬さ検出を可能とするSi製触覚センサデバイス
   2. 繊維状構造体を用いたウエアラブル触覚センサデバイス
   3. 導電性流体を用いた透光性フレキシブルタッチセンサデバイス
7. MEMS技術を用いた次世代経皮吸収製剤（薬剤投与デバイス）

【質疑応答】

キーワード：MEMS、フレキシブルセンサ、医用応用、ヒューマンインターフェイス

セミナー講師

広島市立大学　情報科学研究科　医用情報科学専攻・教授　博士（工学）　式田 光宏　氏

セミナー受講料

【1名の場合】39,600円(税込、資料作成費用を含む)
2名以上は一人につき、11,000円が加算されます。