以下の類似セミナーへのお申込みをご検討ください。
現在の5nmロジックノードに対応する
要求特性・課題・対策とは?
更に来年予定の3nmロジックノード以降の展望とは!?
最新のEUVレジストを始め、液浸や自己組織化(DSA)リソグラフィ、ダブル/マルチパターニングなどなど、各種微細加工・リソグラフィ技術やレジスト材料の基礎から、最新動向・展望までを幅広く解説します。
セミナー趣旨
メモリー、マイクロセッサ等の半導体の高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっています。
本講演では、リソグラフィの基礎を理解していただき、デバイスの微細化を支えるレジスト・微細加工用材料の基礎、現在の5nmロジックノードに対応する要求特性、課題と対策、最新技術・動向を解説し、来年予定されている3nmロジックノード以降の今後の展望、市場動向についてまとめます。
受講対象・レベル
- 本テーマに興味のある企業の研究者、技術者、製造、販売担当、新規事業開発担当、企画担当、特許担当、市場アナリストの方
- これらの職種を希望される学生の方
- 基本から解説しますので予備知識は不要です。
習得できる知識
リソグラフィの基礎知識、レジスト・微細加工用材料の基礎知識、レジスト・微細加工用材料の要求特性、レジスト・微細加工用材料の課題と対策、レジスト・微細加工用材料の最新技術・ビジネス動向が得られます。
セミナープログラム
- リソグラフィの基礎
- 露光
- コンタクト露光
- ステップ&リピート露光
- スキャン露光
- 照明方法
- 斜入射(輪帯)照明
- マスク
- 位相シフトマスク
- 光近接効果補正(OPC)
- マスクエラーファクター(MEF)
- レジストプロセス
- 反射防止プロセス
- ハードマスクプロセス
- 化学機械研磨(CMP)技術
- ロードマップ
- IRDSロードマップ
- リソグラフィへの要求特性
- レジスト・微細加工用材料への要求特性
- 微細化に対応するリソグラフィ技術の選択肢
- IRDSロードマップ
- 露光
- レジストの基礎
- 溶解阻害型レジスト
- g線レジスト
- i線レジスト
- 化学増幅型レジスト
- KrFレジスト
- ArFレジスト
- 化学増幅型レジストの安定化技術
- 溶解阻害型レジスト
- レジスト・微細加工用材料の最新技術
- 液浸リソグラフィ
- 液浸リソグラフィ用トップコート
- 液浸リソグラフィ用レジスト
- 液浸リソグラフィ用レジストの要求特性
- 液浸リソグラフィ用レジストの設計指針
- ダブルパターニング、マルチパターニング
- リソーエッチ(LE)プロセス用材料
- セルフアラインド(SA)プロセス用材料
- EUVリソグラフィ
- EUVレジストの要求特性
- EUVレジストの設計指針
- EUVレジスト用ポリマー
- EUVレジスト用酸発生剤
- EUVレジストの課題と対策
- 感度/解像度/ラフネスのトレードオフ
- ランダム欠陥(Stochastic Effects)
- 最新のEUVレジスト
- 分子レジスト
- ネガレジスト
- ポリマーバウンド酸発生剤を用いる化学増幅型レジスト
- フッ素含有ポリマーレジスト
- 無機/メタルレジスト
- 自己組織化(DSA)リソグラフィ
- グラフォエピタキシー
- ケミカルエピタキシー
- 高χ(カイ)ブロックコポリマー
- ナノインプリントリソグラフィ
- 加圧方式
- 光硬化方式
- 光硬化材料
- 離型剤
- 液浸リソグラフィ
- レジスト・微細加工用材料の技術展望、市場動向
□質疑応答□
キーワード:リソグラフィ、レジスト、微細加工用材料、溶解阻害型レジスト、化学増幅型レジスト、液浸リソグラフィ、ダブルパターニング、マルチパターニング、EUVレジスト、自己組織化(DSA)リソグラフィ、ナノインプリント
セミナー講師
大阪大学 産業科学研究所 招聘教授 遠藤 政孝 氏【元・パナソニック(株)】
セミナー受講料
※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。
49,500円( E-mail案内登録価格46,970円 )
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で 49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須/1名あたり定価半額24,750円)
【1名分無料適用条件】
※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書(PDFデータ)は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
(申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。
※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:35,200円 ( E-Mail案内登録価格 33,440円 )
※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※他の割引は併用できません。
受講について
Zoom配信の受講方法・接続確認
- 本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信となります。PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
- 申込み受理の連絡メールに、視聴用URLに関する連絡事項を記載しております。
- 事前に「Zoom」のインストール(または、ブラウザから参加)可能か、接続可能か等をご確認ください。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー中、講師へのご質問が可能です。
- 以下のテストミーティングより接続とマイク/スピーカーの出力・入力を事前にご確認いただいたうえで、お申込みください。
≫ テストミーティングはこちら
特典
- アーカイブ(見逃し)配信付き:
視聴期間:終了翌日から7日間[7/7~7/13]を予定
※原則として編集は行いません。視聴期間の延長不可。
配布資料
- 製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
関連セミナー
もっと見る関連教材
もっと見る関連記事
もっと見る-
振動発電デバイスの特徴と原理、各方式の利点・制約、用途を解説
振動発電デバイスには、圧電方式、静電方式、電磁方式、磁歪方式という4つの主要な方式があります。これらの方式は、振動エネルギーを電気エネ... -
-
リチウム空気電池とは?リチウムイオン電池との違いや長所を解説
【目次】 リチウム空気電池とは リチウム空気電池は、その名の通り、リチウムと空気中の酸素を使用して電力を生成する次世代型の電池です... -
MEMS技術の新規事業応用:小型化、高感度、低消費電力の鍵要素
【目次】 圧電MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)は、微細な電子機械システムの一種で、圧電効...