レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【LIVE配信】

受講対象・レベル

（１）レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売
（２）半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売
上記に従事されている方々およびリーダークラスの方々。

習得できる知識

• レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法
• レジストの品質管理手法
• レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力
• リソグラフィープロセスの最適化方法
• リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応能力
• 素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応能力

セミナープログラム

1. リソグラフィの基礎
   1. リソグラフィーとは
   2. 露光システムとリソグラフィー装置の変遷
2. レジスト材料とその高性能化
   1. パターンニング用レジスト材料（総論）
   2. G線、i線用レジスト
   3. KrF用レジスト
   4. ArFおよびArF液浸用レジスト
   5. EUV用レジスト
3. レジスト製造技術と品質管理
   1. レジスト製造技術
   2. レジストの性能安定化技術
   3. 品質管理－その項目と方法
4. レジスト材料の評価技術
   1. 性能評価
   2. 品質評価
   3. シミュレーション技術
5. レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
   1. 種々のトラブルとその解決策（材料面から）
   2. 種々のトラブルとその解決策（プロセス面から）
   3. 顧客対応の方法
6. 20nm以下のリソグラフィー技術
   1. ダブルパターンニング技術
   2. DSA技術とその材料
   3. ナノインプリント技術
   4. 今後のリソグラフィー技術

【質疑応答】

キーワード：レジスト,リソグラフィ,材料,プロセス,装置,半導体,デバイス,セミナー,研修,講習会

セミナー講師

（株）光機能材料研究所　代表取締役　工学博士　花畑 誠　氏

セミナー受講料

55,000円（税込、資料付）
■ セミナー主催者からの会員登録をしていただいた場合、1名で申込の場合44,000円、
　 2名同時申込の場合計55,000円（2人目無料：1名あたり27,500円）で受講できます。
（セミナーのお申し込みと同時に会員登録をさせていただきますので、
　  今回の受講料から会員価格を適用いたします。）
※ 会員登録とは
　 ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
　 すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。
　 メールまたは郵送でのご案内となります。
　 郵送での案内をご希望の方は、備考欄に【郵送案内希望】とご記入ください。

受講について

配布資料

• 開催前日までにお送りいたします。
  無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順

1. Zoomを使用されたことがない方は、こちらからミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
2. セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。
3. 開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。