【中止】プラズマエッチングにおけるプラズマダメージの発生メカニズムと制御【Live配信】

セミナー趣旨

　現在、超微細半導体デバイスをはじめ、さまざまなデバイス製造において、プラズマプロセスは重要な役割を担っている。例えば、プラズマエッチングにおいては、想定外のプラズマとデバイス（固体）との相互作用が、デバイス特性・信頼性へ影響を及ぼす。この現象は、プラズマ誘起ダメージと呼ばれ、製造装置設計、プロセス設計、デバイス設計、回路設計において大きな問題となっている。それら現象の基礎的理解は、研究開発のみならず、生産現場でのプロセス管理においても重要である。しかしながら、一般の専門書だけでは、最先端のプラズマエッチングの実用上の課題であるプラズマ誘起ダメージを把握し、制御することは困難である。
　本講座では、近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として、プラズマ誘起ダメージをとりあげる。近年のデバイスの３次元化に伴う新しいプラズマダメージ形成機構や、デバイス設計に必要なデバイス劣化モデル、材料設計に必要な原子レベルでのプラズマダメージモデル、およびその制御について最新の発表動向を交えて議論する。

受講対象・レベル

企業などでプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方、プロセス設計に従事されている方、デバイス信頼性評価に従事されている方など。（主にプロセス・デバイス開発に関連する業務に従事されている方）

必要な予備知識

大学で理系科目を習得していれば特に問題ありません。
企業、大学での勤務経験をもとに、何が大切か？を伝えたいと思います。

習得できる知識

• デバイス信頼性を保証するプラズマプロセスの開発に必要な基礎知識
• プロセス開発現場で必要とされる工学・統計学に関する基礎知識

セミナープログラム

1. プラズマとは
   1. 現代社会におけるプラズマ技術の応用例
   2. プラズマを理解するためのパラメータ
2. プラズマエッチングとは
   1. 超微細半導体デバイスの歴史（加工技術を中心に）
   2. 超微細半導体デバイス製造におけるプラズマエッチングの役割
   3. プラズマエッチングの基礎（反応表面の構造について）
3. プラズマエッチングにおける技術課題について
   1. 加工形状異常に代表される課題例
   2. 新しい課題～プラズマ誘起ダメージ
4. プラズマ誘起ダメージについて
   1. ３つのダメージ発生機構
   2. プラズマ誘起ダメージによる歩留まり低下とデバイス信頼性劣化
   3. イオン衝撃によるプラズマ誘起ダメージモデル
   4. デバイス劣化モデル
   5. ３次元構造における新しいプラズマ誘起ダメージ機構
5. 今後の展望～何がわかっていて、何がわからないのか？
   1. 原子レベルでのプラズマ誘起ダメージの理解に向けて
   2. プラズマ誘起ダメージを制御（最適化？）する
   3. プラズマ誘起ダメージはどうなるのか？

□質疑応答□

セミナー講師

京都大学　大学院工学研究科　航空宇宙工学専攻　教授　博士(工学)　江利口 浩二　氏

セミナー受講料

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44,000円( E-mail案内登録価格41,800円 )
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【1名分無料適用条件】
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※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。
※受講券、請求書は、代表者に郵送いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
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１名申込みの場合：35,200円 ( E-Mail案内登録価格 33,440円 )
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