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有機金属化合物の一般的特徴と
ALD用原料としての揮発可能な原料の開発指針を中心に
多種気相原料の特徴とALDに適しているか否かを解説!
前回も大好評!
低温ALDや、発展が期待されるALE(Atomic Layer Etching)、
ALDの逆工程の応用についてもお話しします
セミナー趣旨
有機金属化合物の一般的特徴とALD用原料としての揮発可能な原料の開発指針を中心として、多種気相原料の特徴とALDに適しているか否かを解説する。また、原料の揮発・輸送手段の例とそれぞれの問題点をあげ、その対策法を具体的に紹介する。さらに現在、注目を集めているMoS2などカルコゲナイドや遷移金属薄膜の原料と成膜、ならびに近年盛んになった低温ALDについても触れる。最後に今後の発展が期待されるALE(Atomic Layer Eching)について、ALDの逆工程の応用についても提案する。
習得できる知識
- ALD原料の知識
- ALD原料の選択のための情報
- 成膜時の問題解決
セミナープログラム
- はじめに
- 気相成長原料の過去・現在
- 気相成長技術の採用
- 原料の反応性とALD
- 化学吸着とALDサイクル
- TMAとH2O
- H2Oと反応しない原料
- ALDサイクルの初期層
- 非化学吸着のよるALDサイクル
- 物理吸着とALDサイクル
- 問題点
- 化学吸着とALDサイクル
- 原料の基礎
- 有機金属原料
- 有機金属とは
- 有機金属の合成法
- 有機金属の実用
- 有機金属原料
- 原料の分子設計
- 揮発性
- 有機金属結合型
- 共有結合性有機金属
- イオン結合性有機金属
- 蒸気圧向上法
- 蒸気圧測定法
- 低融点
- 共有結合とイオン結合
- 低融点化
- 分子軌道計算
- 分子間力
- 成長シミュレーション
- 揮発性
- 原料の安全性
- 消防法危険物
- 引火性
- 発火性
- 水との反応性
- 爆発性
- 毒性
- 急性毒性・慢性毒性
- 特に注意すべき原料
- 消防法危険物
- 原料の製造
- 量産性
- コスト
- 原料の分解
- 熱分解
- 自己分解
- 雰囲気ガス
- 分解温度の調整
- 低温化
- 高温化
- 保存安定性
- 保存容器
- 保存状態
- 安定剤
- 熱分解
- 原料の揮発・輸送
- 蒸気圧直接供給
- ガス原料
- 微差圧駆動MFC
- キャリアガスバブリング
- 液体原料
- 溶液原料 ……タイプA, タイプB
- 蒸気圧と揮発性
- ダイレクトリキッドインジェクション
- 液体原料
- 溶液原料
- 原料の同時供給
- Pre-reaction
- Adduct形成
- 蒸気圧直接供給
- 原料各論
- 原料の種類と性質
- タイプA
- タイプB
- 族別原料の性質
- 1,2族
・
・ - 17族
- 1,2族
- 原料の種類と性質
- 新しいALD状況
- メタル膜ALD
- ラジカル種を用いたALDの紹介
- 新原料を用いたALDの実験と最新結果
- 第3成膜種利用
- アトミックレイヤーエッチング(ALE)
- 代表例
- ALEのチャレンジ
- 低温ALD
- TMAによるAl2O3
- 他の多量体原料
- 各種原料の室温反応性比較
- メタル膜ALD
- まとめ
セミナー講師
気相成長株式会社 代表取締役 博士(理学) 町田 英明 先生
【略歴】
(株)トリケミカル研究所開発部長、取締役。
2004年NPO科学知総合研究所理事。
2008年(株)トリケミカル研究所辞任。
2008年~2010年東京大学特任研究員。
2008年気相成長株式会社設立。CVD, ALD原料開発およびプロセス開発。
【専門】
有機金属化学/CVD, ALD原料開発/LSI配線関連プロセス開発
【本テーマ関連学協会での活動】
ADMETA副委員長、cat-CVD研究会、CVD反応分科会
NPO科学知総合研究所 理事
セミナー受講料
1名41,800円(税込(消費税10%)、資料付)
*1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円
*学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。
受講について
※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。
配布資料・講師への質問等について
- 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
(開催1週前~前日までには送付致します)。
※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
(土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。) - 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
(全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。) - 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。
下記ご確認の上、お申込み下さい
- PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
- ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております(20Mbbs以上の回線をご用意下さい)。
各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。 - 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。
Zoomを使用したオンラインセミナーとなります
- ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
→ 確認はこちら
※Skype/Teams/LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。 - Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
※一部のブラウザは音声(音声参加ができない)が聞こえない場合があります。
必ずテストサイトからチェック下さい。
対応ブラウザーについて(公式) ;
「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。
※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です
開催日時
13:00 ~
受講料
41,800円(税込)/人
※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます
※銀行振込、コンビニ払い
開催場所
全国
主催者
キーワード
化学反応・プロセス 薄膜、表面、界面技術 半導体技術
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