反応性高速スパッタの基礎から応用、トラブル対策まで〜低ダメージのロータリーカソード技術と高速・低温成膜テクニック〜【15名様限定】

スパッタ技術の中でもご要望が多い「反応性スパッタ」に
焦点を当てたセミナー


経験豊富な講師による丁寧でわかりやすい解説
少人数制ならではの双方向的なやり取りも可能です!

セミナー趣旨

 スパッタリングは、再現性がよく、大面積にも均一に成膜でき、低温においても密着性良く、成膜プロセスとして大きな広がりを見せている技術です。化合物膜中でも酸化物や窒化物の透明膜においては応用製品が多く、高速成膜によるコストダウンが大きなインパクトを与えています。高速成膜制御技術と低ダメージカソード技術の組み合わせにより、プラスチック基板を用いた軽くて薄いフレキシブル基板への成膜が容易にできるようになりました。ロールtoロールプロセスとロータリーカソードを用いた低ダメージ技術、高速成膜技術について詳細に紹介し、スパッタ技術動向についても解説します。特に最近注目されている技術として、HIPIMS電源を用いたスパッタについて丁寧に解説します。

受講対象・レベル

スパッタリングを経験した人、バリア膜、透明導電膜、光学薄膜などの開発者、またこれらに興味のある方

必要な予備知識

・高校卒業レベルの、化学、物理の知識
・真空に関わる基礎知識

習得できる知識

・スパッタリングに関する基礎知識
・反応性スパッタ
・高速成膜の基礎及び制御方法
・ロータリーカソードの構造、原理、低ダメージの原理
・スパッタリング成膜でのトラブル対処

セミナープログラム

1.スパッタリングの特徴
 1)表面処理と成膜法
 2)蒸着膜とスパッタ膜の違い
 3)スパッタリングの原理
 4)ロールコーターとインラインコーター

2.パルス電源
 1)アーキングの原理
 2)パルスの種類
 3)パルスと膜構造
 4)HIPIMS電源

3.マグネトロン技術
 1)アンバランスドマグネトロン
 2)磁力線分布
 3)対称磁場と非対称磁場

4.カソード技術
 1)ロータリーカソード
 2)デュアルカソード
 3)AC放電
 4)磁場リンク
 5)低ダメージカソード

5.高速成膜技術
 1)反応性スパッタ
 2)ヒステリシス曲線
 3)遷移領域制御
 4)プラズマエミッション制御
 5)インピーダンス制御

6.スパッタリング膜の品質向上策・トラブルシューティング
 1)パーティクルの発生原因と対策
 2)内部応力のメカニズムと低減策
 3)密着性を向上させ剥がれにくい膜を作るには?
 4)均一な膜を作るための制御手法

7.応用商品
 1)透明導電膜
 2)バリア膜(量子ドット液晶など)
 3)ソーラーコントロール膜(集熱、省エネなど)
 4)光学膜
 5)トピックス

8.質問
 著書「現場のスパッタリング薄膜Q&A」の質問などありましたら解説します。

セミナー講師

有限会社アーステック 代表取締役 / 名古屋大学 客員教授 小島 啓安 先生
■ご略歴:
 キヤノン株式会社にて、半導体露光装置の光学膜開発を5年ほど従事、その後旭硝子株式会社にて、自動車用、建築用、電子基板用のスパッタによる薄膜開発を行う。2003年に有限会社アーステック設立し、薄膜コンサルタントを開始。2012年に名古屋大学にて学位取得、同年より名古屋大学客員教授を務める。2013年には中国科学院上海セラミックス研究所の兼任教授(3年間)となる。
■ご専門および得意な分野・研究:
真空薄膜、スパッタリング&プラズマプロセス開発、バリア膜、光学薄膜、透明導電膜、光触媒膜、熱線反射膜などのソーラーコントロール膜、硬質膜など
■本テーマ関連学協会でのご活動:
真空学会:スパッタ&プラズマプロセス部会
表面技術協会:編集委員

セミナー受講料

1名47,300円(税込(消費税10%)、資料・昼食付)
 *1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円
 *学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。

※ご連絡
 当セミナーの会場では、現金による受講料支払いを休止させていただくこととなりました。
 現金にてお支払い希望の方は、コンビニエンスストアにてお支払いできる用紙をご送付申し上げますので、お近くの店舗にてお支払い頂けましたら幸いです。尚、領収証をご希望の方は、コンビニ支払い時に発行される振込受領書と引き換えにて発行させて頂きます。


※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

開催日時


10:30

受講料

47,300円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行払い、コンビニ払い

開催場所

東京都

MAP

【品川区】きゅりあん

【JR・東急・りんかい線】大井町駅

主催者

キーワード

半導体技術   薄膜、表面、界面技術

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開催日時


10:30

受講料

47,300円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行払い、コンビニ払い

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【品川区】きゅりあん

【JR・東急・りんかい線】大井町駅

主催者

キーワード

半導体技術   薄膜、表面、界面技術

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