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スパッタ・蒸着膜の剥離トラブルに
対処する際に知っておくべきこと
薄膜の密着性にまつわる技術課題を解決されたい方、密着についての品質管理に関わる方は聴いておきたい!
薄膜の密着性の問題に対処する際に知っておくべき基本的な内容を基礎から易しく解説します
セミナー趣旨
本セミナーでは、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、できるだけ平易に解説します。特に、界面や表面、膜応力や剥離・破壊の基本知識と、密着性改善の考え方、密着力の評価方法について詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、さらに樹脂コーティング膜等についても実例を挙げながら解説します。さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。
初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方、さらには品質管理等で密着性の評価技術の本質を理解したい方に適した内容です。本講座を通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。
受講対象・レベル
- 薄膜材料・デバイスの設計開発、製造プロセス、品質管理にかかわる中堅技術者、初学者
習得できる知識
- 薄膜の剥離・破壊に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
- 薄膜の応力や界面などの微視的構造の基礎知識
- 剥離の観察方法
- 薄膜の剥離トラブルに直面した時の具体的な対処手順
- 薄膜の様々な剥離モードに応じた、材料設計の考え方
セミナープログラム
- なぜ剥離が発生するのか
- 薄膜の剥離問題で苦労する理由:膜剥離を理解・対策するための3つのポイント
- 負荷条件と、膜の剥離・破壊原因および剥離・破壊モード:引張/圧縮力の負荷、ヒートサイクル、高温保持による違いの理解
- 異種材料間の界面構造は微視的にどうなっているのか?
- 密着と粘着・接着との違い
- なぜ膜応力が剥離へ大きな影響を与えるのか?
- 薄膜の剥離・破壊・密着力を理解し、改善に繋がる効果的な考え方と密着力向上の手法
- 密着性をどのように評価するか
- 密着力を評価したいがどの方法、条件を選べばいいのか:測定条件の影響と測定値の持つ意味
- 様々な密着力評価方法の特長と注意点:テープテスト・3点曲げテスト
- 密着性評価においてスクラッチ法が役立つ3つの理由:得られる情報と密着性改善につながる材料設計への活かし方
- 樹脂膜・樹脂基材でのスクラッチテストによる密着力評価
- 密着性を改善するには
- 剥離を起こさせない条件を密着性改善につなげる効果的な考え方
- 異種材料界面および表面/界面の改質手法
- ケーススタディ:剥離要因を絞込み、密着性を改善する手順の具体例
- まとめ
□ 質疑応答 □
セミナー講師
ペルノックス(株) ( 荒川化学工業(株) ) 開発統括部 開発センター長 工学博士 岩村 栄治 氏
略歴
1990年 東京大学工学研究科修士課程修了(金属工学専攻)
2000年 工学博士(東京大学)
1990年~2001年 (株)神戸製鋼所 技術開発本部 研究員
1994年~1996年 スタンフォード大学材料科学工学科 客員研究員
2002年~2005年 科学技術振興機構 さきがけ研究21 個人研究者
2005年~ 荒川化学工業(株)
2013年~ ペルノックス(株)(出向)
受賞
日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞
セミナー受講料
※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。
49,500円( E-mail案内登録価格46,970円 )
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2名で 49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須/1名あたり定価半額24,750円)
【1名分無料適用条件】
※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価半額で追加受講できます。
※受講券、請求書は、代表者に郵送いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
(申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。
※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:35,200円 ( E-Mail案内登録価格 33,440円 )
※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
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受講について
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- お申込みの際は、接続確認用URL(https://zoom.us/test)にアクセスして接続できるか等ご確認下さい。
配布資料
- 製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です
開催日時
10:30 ~
受講料
49,500円(税込)/人
※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます
※銀行振込 または、当日現金でのお支払い
開催場所
全国
主催者
キーワード
薄膜、表面、界面技術
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