初心者向けセミナーです 【中止】レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策

レジストの高性能化、評価技術、最近のリソグラフィー技術など
必須基礎知識からリソグラフィープロセスの最適化方法まで詳解

受講対象・レベル

(1)レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売
(2)半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売
上記に従事されている方々およびリーダークラスの方々

習得できる知識

・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法
・レジストの品質管理手法
・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力
・リソグラフィープロセスの最適化方法
・リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応能力
・素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応能力

セミナープログラム

1.リソグラフィの基礎
 (1)リソグラフィーとは
 (2)露光システムとリソグラフィー装置の変遷
2.レジスト材料とその高性能化
 (1)パターンニング用レジスト材料(総論)
 (2)G線、i線用レジスト
 (3)KrF用レジスト
 (4)ArFおよびArF液浸用レジスト
 (5)EUV用レジスト
3.レジスト製造技術と品質管理
 (1)レジスト製造技術
 (2)レジストの性能安定化技術
  (3)品質管理-その項目と方法
4.レジスト材料の評価技術
 (1)性能評価
 (2)品質評価
 (3)シミュレーション技術
5.レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
 (1)種々のトラブルとその解決策(材料面から)
 (2)種々のトラブルとその解決策(プロセス面から)
 (3)顧客対応の方法
6.20nm以下のリソグラフィー技術
 (1)ダブルパターンニング技術
 (2)DSA技術とその材料
 (3)ナノインプリント技術
 (4)今後のリソグラフィー技術
【質疑応答・名刺交換】

セミナー講師

大阪市立大学 大学院工学研究所 客員教授 工学博士 花畑 誠 氏

セミナー受講料

55,000円(税込・資料付)
■ セミナー主催者からの会員登録をしていただいた場合、1名で申込の場合49,500円で受講できます。
  備考欄に「会員登録希望」と希望の案内方法【メールまたは郵送】を記入ください。
(セミナーのお申し込みと同時に会員登録をさせていただきますので、
   今回の受講料から会員価格を適用いたします。)
※ 会員登録とは
  ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
  すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切掛かりません。


※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

開催日時


10:30

受講料

55,000円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込

開催場所

東京都

MAP

【江東区】カメリアプラザ(商工情報センター)

【JR・東武】亀戸駅

主催者

キーワード

電子デバイス・部品   高分子・樹脂材料   半導体技術

※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

開催日時


10:30

受講料

55,000円(税込)/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込

開催場所

東京都

MAP

【江東区】カメリアプラザ(商工情報センター)

【JR・東武】亀戸駅

主催者

キーワード

電子デバイス・部品   高分子・樹脂材料   半導体技術

関連記事

もっと見る