以下の類似セミナーへのお申込みをご検討ください。
レジストの高性能化、評価技術、最近のリソグラフィー技術など
必須基礎知識からリソグラフィープロセスの最適化方法まで詳解
受講対象・レベル
(1)レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売
(2)半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売
上記に従事されている方々およびリーダークラスの方々
習得できる知識
・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法
・レジストの品質管理手法
・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力
・リソグラフィープロセスの最適化方法
・リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応能力
・素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応能力
セミナープログラム
1.リソグラフィの基礎
(1)リソグラフィーとは
(2)露光システムとリソグラフィー装置の変遷
2.レジスト材料とその高性能化
(1)パターンニング用レジスト材料(総論)
(2)G線、i線用レジスト
(3)KrF用レジスト
(4)ArFおよびArF液浸用レジスト
(5)EUV用レジスト
3.レジスト製造技術と品質管理
(1)レジスト製造技術
(2)レジストの性能安定化技術
(3)品質管理-その項目と方法
4.レジスト材料の評価技術
(1)性能評価
(2)品質評価
(3)シミュレーション技術
5.レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
(1)種々のトラブルとその解決策(材料面から)
(2)種々のトラブルとその解決策(プロセス面から)
(3)顧客対応の方法
6.20nm以下のリソグラフィー技術
(1)ダブルパターンニング技術
(2)DSA技術とその材料
(3)ナノインプリント技術
(4)今後のリソグラフィー技術
【質疑応答・名刺交換】
セミナー講師
大阪市立大学 大学院工学研究所 客員教授 工学博士 花畑 誠 氏
セミナー受講料
55,000円(税込・資料付)
■ セミナー主催者からの会員登録をしていただいた場合、1名で申込の場合49,500円で受講できます。
備考欄に「会員登録希望」と希望の案内方法【メールまたは郵送】を記入ください。
(セミナーのお申し込みと同時に会員登録をさせていただきますので、
今回の受講料から会員価格を適用いたします。)
※ 会員登録とは
ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切掛かりません。
関連セミナー
もっと見る関連教材
もっと見る関連記事
もっと見る-
リチウム空気電池とは?リチウムイオン電池との違いや長所を解説
【目次】 リチウム空気電池とは リチウム空気電池は、その名の通り、リチウムと空気中の酸素を使用して電力を生成する次世代型の電池です... -
MEMS技術の新規事業応用:小型化、高感度、低消費電力の鍵要素
【目次】 圧電MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)は、微細な電子機械システムの一種で、圧電効... -
-
圧電材料とMEMS:電気を生み出す不思議な素材とその使い方
【目次】 1. 圧電材料・圧電効果とは 圧電材料とは、力(圧力)を加えると電圧を発生する(圧電効果)または電圧を加えると変形する(...